Os materiais alvo de nióbio são usados principalmente em revestimento óptico, revestimento de materiais de engenharia de superfície e indústrias de revestimento, como resistência ao calor, resistência à corrosão e alta condutividade. No campo do revestimento óptico, é aplicado principalmente em produtos ópticos oftálmicos, lentes, óptica de precisão, revestimento de grandes áreas, revestimento 3D e outros aspectos.
O material alvo de nióbio é geralmente chamado de alvo nu. Ele é primeiro soldado ao alvo traseiro de cobre e depois pulverizado para depositar átomos de nióbio na forma de óxidos no material do substrato, obtendo o revestimento por pulverização catódica. Com o contínuo aprofundamento e expansão da tecnologia e aplicação do alvo do nióbio, os requisitos para a uniformidade da microestrutura do alvo do nióbio aumentaram, manifestando-se principalmente em três aspectos: refinamento do tamanho do grão, sem orientação de textura óbvia e pureza química aprimorada.
A distribuição uniforme da microestrutura e das propriedades em todo o alvo é crucial para garantir o desempenho de pulverização catódica dos materiais alvo de nióbio. A superfície dos alvos de nióbio encontrados na produção industrial geralmente exibe padrões regulares, que afetam grandemente o desempenho de pulverização catódica dos alvos. Como podemos melhorar a taxa de utilização das metas?
Através de pesquisas, descobriu-se que o conteúdo de impurezas (pureza alvo) é um fator importante que afeta a pureza. A composição química das matérias-primas é desigual e as impurezas são enriquecidas. Após o processamento posterior de laminação, padrões regulares são formados na superfície do material alvo de nióbio; A eliminação da distribuição desigual dos componentes da matéria-prima e do enriquecimento com impurezas pode evitar a formação de padrões regulares na superfície dos alvos de nióbio. A influência do tamanho do grão e da composição estrutural no material alvo pode ser quase insignificante.
Horário da postagem: 19 de junho de 2023