Conhecimento de manutenção do alvo de pulverização catódica

Muitos amigos sobre a manutenção do alvo há mais ou menos dúvidas, recentemente também há muitos clientes consultando sobre a manutenção dos problemas relacionados ao alvo, deixe o editor do RSM para compartilharmos sobre o conhecimento de manutenção do alvo de pulverização catódica.

　　Como os alvos de pulverização catódica devem ser mantidos?

　　1. Manutenção de metas

Para evitar curto-circuito e arco voltaico causados ​​por cavidades sujas no processo de pulverização catódica, é necessário remover periodicamente as pulverizações acumuladas no meio e em ambos os lados da pista de pulverização catódica, o que também ajuda os usuários a pulverizar continuamente em alta densidade de potência.

　　2. Armazenamento de destino

Recomendamos que os usuários armazenem o alvo (seja metálico ou cerâmico) em embalagens a vácuo, especialmente o alvo do encaixe deve ser armazenado no vácuo para evitar que a oxidação da camada do encaixe afete a qualidade do encaixe. Quanto à embalagem dos alvos metálicos, sugerimos que sejam acondicionados, no mínimo, em sacos plásticos limpos.

　　3. Limpeza de alvo

O primeiro passo é limpar com um pano macio e sem fiapos embebido em acetona;

A segunda etapa é semelhante à primeira, limpando com álcool;

Etapa 3: limpe com água deionizada. Após a limpeza com água deionizada, o alvo é colocado na estufa e seco a 100 ℃ por 30 minutos. Sugere-se usar “pano sem fiapos” para limpar alvos de óxido e cerâmica.

A quarta etapa é lavar o alvo com argônio com alta pressão e baixa umidade para remover quaisquer partículas impuras que possam causar arco no sistema de pulverização catódica.

　　4、 Curto-circuito e verificação de estanqueidade

Após a instalação do alvo, todo o cátodo precisa ser verificado quanto a curto-circuito e estanqueidade. Recomenda-se avaliar se há curto-circuito no cátodo usando um medidor de resistência e um megômetro. Depois de confirmar que não há curto-circuito no cátodo, a inspeção de vazamento de água pode ser realizada e a água pode ser introduzida no cátodo para determinar se há vazamento de água.

　　5、 Embalagem e transporte

Todos os alvos são embalados em sacos plásticos selados a vácuo com agente à prova de umidade. A embalagem externa geralmente é uma caixa de madeira com uma camada anticolisão ao redor para proteger o alvo e o backplane contra danos durante o transporte e armazenamento.