Sobre o produto alvo, agora o mercado de aplicativos é cada vez mais amplo, mas ainda existem alguns usuários que não entendem muito sobre o uso do alvo, deixe os especialistas do Departamento de Tecnologia RSM fazerem uma introdução detalhada sobre ele,
1. Microeletrônica
Em todas as indústrias de aplicação, a indústria de semicondutores tem os requisitos mais exigentes para a qualidade do filme de pulverização catódica alvo. Já foram fabricadas pastilhas de silício de 12 polegadas (300 epistaxes). A largura da interconexão está diminuindo. Os fabricantes de wafers de silício exigem tamanho grande, alta pureza, baixa segregação e granulação fina do alvo, o que requer melhor microestrutura do alvo fabricado.
2, exibição
A tela plana (FPD) teve um grande impacto no mercado de monitores de computador e televisão baseados em tubo de raios catódicos (CRT) ao longo dos anos e também impulsionará a tecnologia e a demanda do mercado por materiais alvo de ITO. Existem dois tipos de alvos iTO. Uma é usar o estado nanométrico de óxido de índio e pó de óxido de estanho após a sinterização, a outra é usar um alvo de liga de índio e estanho.
3. Armazenamento
Em termos de tecnologia de armazenamento, o desenvolvimento de discos rígidos de alta densidade e grande capacidade requer um grande número de materiais de filme de relutância gigante. O filme composto multicamadas CoF ~ Cu é uma estrutura amplamente utilizada de filme de relutância gigante. O material alvo da liga TbFeCo necessário para o disco magnético ainda está em desenvolvimento. O disco magnético fabricado com TbFeCo possui características de grande capacidade de armazenamento, longa vida útil e apagamento repetido sem contato.
Desenvolvimento do material alvo:
Vários tipos de materiais de película fina de pulverização catódica têm sido amplamente utilizados em circuitos integrados de semicondutores (VLSI), discos ópticos, displays planares e revestimentos de superfície de peças de trabalho. Desde a década de 1990, o desenvolvimento síncrono do material alvo de pulverização catódica e da tecnologia de pulverização catódica atendeu amplamente às necessidades de desenvolvimento de vários novos componentes eletrônicos.
Horário da postagem: 08/08/2022