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Alvo de ítrio de alta pureza — um membro importante do revestimento PVD

O que é o alvo de pulverização catódica de ítrio?
O alvo de ítrio é produzido principalmente pelo alvo de pulverização catódica de ítrio de elemento metálico, porque o elemento de ítrio (Y) é um dos elementos metálicos de terras raras, então o alvo de ítrio também é conhecido como alvo de terras raras.
Os alvos de ítrio são usados ​​principalmente na tecnologia de deposição por pulverização catódica. A tecnologia de deposição por pulverização catódica é uma das tecnologias de deposição física de vapor (PVD) e é uma das principais tecnologias para a preparação de materiais eletrônicos de filme fino. Ao bombardear a superfície do alvo com partículas de alta energia (como íons ou feixes de elétrons), os átomos ou moléculas alvo são expelidos e depositados em outro substrato para formar o filme ou revestimento desejado.
O alvo de ítrio é simplesmente o material de origem do filme ou revestimento desejado preparado pela tecnologia PVD.
alvo de pulverização catódica de ítrio

 

O que éoalvo de pulverização catódica de ítrio usado?

Os alvos de ítrio têm uma ampla gama de aplicações em diversos campos, a seguir estão as principais áreas de aplicação:

  1. Materiais semicondutores: Na indústria de semicondutores, os alvos de ítrio são usados ​​para produzir camadas específicas em materiais semicondutores ou componentes eletrônicos, como transistores, circuitos integrados, etc.
  2. Revestimento óptico: No campo da óptica, os alvos de ítrio podem ser usados ​​para preparar revestimentos ópticos com alto índice de refração e baixa taxa de espalhamento, que desempenham um papel importante na produção de dispositivos ópticos, como lasers e filtros ópticos.
  3. Deposição de filmes finos: O alvo de ítrio ocupa uma posição importante na tecnologia de deposição de filmes finos e sua alta pureza, boa estabilidade e propriedades físicas e químicas específicas o tornam a escolha ideal para preparar uma variedade de materiais de filmes finos. Esses materiais de película fina têm uma ampla gama de aplicações em campos ópticos, eletrônicos, magnéticos e outros.
  4. Área médica: os alvos de ítrio têm aplicações importantes na radiomedicina, como fonte de raios X e raios gama, diagnóstico por imagem (como tomografia computadorizada) e radioterapia. Além disso, isótopos específicos de ítrio (como Y-90) também podem ser usados ​​em produtos radiofarmacêuticos para tratamento direcionado de cânceres específicos.
  5. Indústria de energia nuclear: Em reatores nucleares, os alvos de ítrio são usados ​​como materiais de alavanca para controlar a velocidade e a estabilidade das reações nucleares devido à sua excelente capacidade de absorção de nêutrons.

Nota: Como os requisitos de desempenho dos alvos de ítrio em diferentes campos de aplicação podem ser diferentes, o alvo apropriado precisa ser selecionado de acordo com a situação real na aplicação específica. (Como pureza específica, proporção de composição, tamanho, formato, etc., personalizados de acordo com requisitos específicos.)

Tecnologia de produção de alvos de pulverização catódica de ítrio?

1. Prepare o pó de ítrio 2. HIP, moldagem por prensagem 3. Sinterização em alta temperatura 4. Processamento subsequente (corte, polimento, etc.) 5. Limpeza e embalagem

Nota:Além das etapas básicas acima, de acordo com o método de preparação específico e as necessidades de aplicação, os alvos de pulverização catódica de ítrio também podem envolver outras etapas e tecnologias, como o método de pulverização catódica, método de fusão a vácuo, etc. desempenho e estrutura do material alvo.

Como escolher um alvo de pulverização catódica de alta qualidade?

A seguir listamos os 7 fatores importantes para a seleção de alvos de pulverização catódica de alta qualidade:

1. Olápureza

Alvos de alta pureza possuem melhores propriedades de material e propriedades físicas e químicas mais estáveis, o que é essencial para garantir a qualidade e o desempenho dos revestimentos de pulverização catódica. Os requisitos específicos de pureza devem ser determinados de acordo com o cenário de aplicação; alguns cenários de aplicação simples não precisam buscar pureza ultra-alta, para não aumentar custos desnecessários. O que combina com você é o melhor.

2.Estabilidade

A estabilidade do alvo é igualmente importante, o que pode evitar perdas de material ou flutuações de desempenho durante a pulverização catódica. Portanto, na seleção, opte-se por aquele tratamento especial ou que tenha boa estabilidade do produto.

3.Tamanho e forma

O tamanho e a forma do alvo de pulverização catódica devem ser selecionados de acordo com os requisitos específicos do equipamento de revestimento para se adaptar aos diferentes processos de pulverização catódica e necessidades de produção. Garantir que o alvo corresponda ao equipamento aumenta a eficiência da pulverização catódica e reduz o desperdício.

4.Densidade

A densidade é um dos indicadores importantes para medir a qualidade do material alvo. O material alvo de alta densidade pode garantir um melhor efeito de pulverização catódica. Ao selecionar, você deve prestar atenção aos dados de densidade do alvo e tentar escolher produtos com maior densidade.

5. Precisão de processamento

A precisão do processamento do alvo também é um dos fatores que precisam ser considerados. Geralmente, a precisão de processamento do alvo deve estar dentro de ± 0,1 mm para garantir a estabilidade do processo de pulverização catódica e a uniformidade da qualidade do revestimento.

6. Requisitos especiais

Para alguns cenários de aplicação especiais, como a necessidade de alta transmitância de luz, baixa absorção do alvo (revestimento óptico) ou alta condutividade, alta estabilidade do alvo (campo eletrônico), devem ser selecionados de acordo com as necessidades específicas do alvo correspondente tipo.

7.Selecione um fabricante ou fornecedor profissional.


Horário da postagem: 17 de abril de 2024