Todos sabemos que a pulverização catódica é uma das principais tecnologias de preparação de materiais cinematográficos. Ele usa os íons produzidos pela fonte de íons para acelerar a agregação no vácuo para formar um feixe de íons de alta velocidade, bombardear a superfície sólida, e os íons trocam energia cinética com os átomos na superfície sólida, de modo que os átomos no sólido superfície deixa o sólido e se deposita na superfície do substrato. O sólido bombardeado é a matéria-prima para a deposição do filme por pulverização catódica, que é chamada de alvo de pulverização catódica.
Vários tipos de materiais de filme pulverizado têm sido amplamente utilizados em circuitos integrados de semicondutores, mídia de gravação, exibição planar, revestimento de superfície de ferramentas e matrizes e assim por diante.
Os alvos de pulverização catódica são usados principalmente nas indústrias eletrônicas e de informação, como circuitos integrados, armazenamento de informações, displays de cristal líquido, memórias laser, equipamentos de controle eletrônico, etc; Também pode ser utilizado na área de revestimento de vidro; Também pode ser usado em materiais resistentes ao desgaste, resistência à corrosão em altas temperaturas, produtos decorativos de alta qualidade e outras indústrias.
Existem muitos tipos de alvos de pulverização catódica e diferentes métodos para a classificação de alvos:
De acordo com a composição, pode ser dividido em alvo metálico, alvo de liga e alvo composto cerâmico.
De acordo com o formato, pode ser dividido em alvo longo, alvo quadrado e alvo redondo.
Pode ser dividido em alvo microeletrônico, alvo de gravação magnética, alvo de disco óptico, alvo de metal precioso, alvo de resistência de filme, alvo de filme condutor, alvo de modificação de superfície, alvo de máscara, alvo de camada decorativa, alvo de eletrodo e outros alvos de acordo com o campo de aplicação.
De acordo com diferentes aplicações, pode ser dividido em alvos cerâmicos relacionados a semicondutores, alvos cerâmicos médios de gravação, alvos cerâmicos de exibição, alvos cerâmicos supercondutores e alvos cerâmicos de magnetorresistência gigantes.
Horário da postagem: 29 de julho de 2022