Rachaduras em alvos de pulverização catódica geralmente ocorrem em alvos de pulverização catódica cerâmicos, como óxidos, carbonetos, nitretos e materiais frágeis, como cromo, antimônio e bismuto. Agora deixe os especialistas técnicos da RSM explicarem por que o alvo de pulverização catódica racha e quais medidas preventivas podem ser tomadas para evitar esta situação.
Alvos de materiais cerâmicos ou frágeis sempre contêm tensões inerentes. Essas tensões internas são geradas no processo de fabricação alvo. Além disso, essas tensões não são completamente eliminadas pelo processo de recozimento, pois são características inerentes a estes materiais. No processo de pulverização catódica, o bombardeio de íons gasosos transfere seu momento para os átomos alvo, fornecendo-lhes energia suficiente para separá-los da rede. Essa transferência de momento exotérmico faz com que a temperatura alvo suba, que pode atingir 1.000.000 ℃ no nível atômico.
Esses choques térmicos aumentam muitas vezes o estresse interno existente no alvo. Neste caso, se o calor não for dissipado adequadamente, o alvo poderá quebrar. Para evitar que o alvo rache, a dissipação de calor deve ser enfatizada. Um mecanismo de resfriamento de água é necessário para remover a energia térmica indesejada do alvo. Outra questão a considerar é o aumento da potência. Muita energia aplicada em um curto espaço de tempo também causará choque térmico no alvo. Além disso, sugerimos vincular esses alvos ao backplane, que pode não apenas fornecer suporte para o alvo, mas também promover uma melhor troca de calor entre o alvo e a água. Se o alvo tiver rachaduras, mas estiver colado à placa traseira, ele ainda poderá ser usado.
Rich Special Materials Co., Ltd. pode fornecer alvos de pulverização catódica com backplane. Pode ser personalizado de acordo com as necessidades do cliente em termos de material, espessura e tipo de colagem.
Horário da postagem: 21 de setembro de 2022