د الیاژ هدفونو لپاره احتیاطي تدابیر

1، د تودوخې چمتو کول

دا ډیره مهمه ده چې د ویکیوم چیمبر، په ځانګړې توګه د تودوخې سیسټم پاک وساتئ. هر ډول پاتې شونه چې د غوړولو تیلو، دوړو او پخوانیو پوښښ په واسطه رامینځته شوي د اوبو بخار او نور ککړونکي راټولوي، کوم چې په مستقیم ډول د خلا درجې اغیزه کوي او د فلم جوړولو ناکامۍ احتمال زیاتوي. شارټ سرکټ یا د هدف آرینګ، د فلم سطحه او د کیمیاوي ناپاکۍ ډیر مواد اکثرا د ناپاک سپټرینګ چیمبر، سپټرینګ ټوپک او هدف لخوا رامینځته کیږي. د دې لپاره چې د کوټینګ جوړښت ځانګړتیاو ته غاړه کیږدي، دا اړینه ده چې د تودوخې ګاز (ارګون یا اکسیجن) پاک او وچ کړئ. وروسته له دې چې سبسټریټ د سپټرینګ چیمبر کې نصب شي ، هوا باید د پروسې لخوا اړین خلا ته د رسیدو لپاره استخراج شي. په تیاره ساحه کې د محافظت پوښ، د غار دیوال او نږدې سطحه هم باید پاک وساتل شي. کله چې د ویکیوم چیمبر پاک کړئ، موږ د دوړو برخو درملنې لپاره د شیشې بال شاټ بلاسټینګ کارولو ملاتړ کوو ، د کمپریس شوي هوا سره یوځای د خونې شاوخوا د لومړني تودوخې پاتې پاتې کیدو لرې کولو لپاره ، او بیا په خاموشۍ سره بهرنۍ سطحه د الومینا رنګ شوي شګو کاغذ سره پالش کړئ. د ګوز کاغذ د پالش کولو وروسته، دا د الکولو، اکټون او ډیونیز شوي اوبو سره پاک شوی. په ګډه ، دا د معاون پاکولو لپاره د صنعتي ویکیوم کلینر کارولو ملاتړ کوي. د ګوزان فلز لخوا تولید شوي هدفونه په ویکیوم مهر شوي پلاستيکي کڅوړو کې بسته شوي ،

د رطوبت ضد ایجنټ کې جوړ شوی. کله چې هدف وکاروئ، مهرباني وکړئ په مستقیم ډول د خپل لاس سره هدف مه لمسئ. یادونه: کله چې هدف وکاروئ ، مهرباني وکړئ پاک او د لینټ وړیا ساتنې دستکشې واغوندئ. هیڅکله په مستقیم ډول د خپلو لاسونو سره هدف ته لاس مه ورکوئ

2، د هدف پاکول

د هدف پاکولو هدف د دوړو یا کثافاتو لرې کول دي چې ممکن د هدف په سطحه شتون ولري.

فلزي هدف په څلورو مرحلو کې پاک کیدی شي،

لومړی ګام دا دی چې د لینټ وړیا نرم ټوکر سره پاک کړئ چې په اسیټون کې لویږي؛

دوهم ګام د لومړي ګام سره ورته دی، د الکول سره پاکول؛

دریم ګام: د ډیونیز شوي اوبو سره پاک کړئ. د deionized اوبو سره د مینځلو وروسته، هدف په تنور کې واچوئ او د 30 دقیقو لپاره یې په 100 ℃ وچ کړئ.

د اکسایډ او سیرامیک اهدافو پاکول باید د "لینټ پاک ټوکر" سره ترسره شي.

څلورم ګام دا دی چې د دوړو ساحې لرې کولو وروسته هدف د لوړ فشار او ټیټ اوبو ګاز سره د ارګون سره مینځل شي ، ترڅو ټولې ناپاکې ذرات لرې شي چې د سپټرینګ سیسټم کې آرک رامینځته کوي.

3، هدف آله

د هدف نصبولو په پروسه کې، Z مهم احتیاطي تدابیر دا دي چې د هدف او د سپټرینګ ټوپک د یخ کولو دیوال تر منځ د تودوخې ښه والی اړیکه یقیني کړي. که چیرې د یخولو سټیف جنګیدنه شدیده وي یا د شاته پلیټ جنګی پاڼه سخته وي ، د هدف وسیله به ټوټه شي یا ودریږي ، او د شا له هدف څخه هدف ته د تودوخې چالکتیا به خورا اغیزمنه شي ، چې په پایله کې د تودوخې تحلیل ناکامیږي. د تودوخې په بهیر کې، او هدف به مات شي یا ورک شي

د دې لپاره چې د حرارتي چال چلن ډاډمن شي، د ګرافیت کاغذ یوه طبقه د کیتوډ کولنګ دیوال او هدف ترمنځ پیډ کیدی شي. مهرباني وکړئ په دقت سره چیک کولو ته پاملرنه وکړئ او د سپټرینګ ټوپک د یخ کولو دیوال فلیټیت روښانه کړئ ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې O- حلقه تل په ځای کې وي.

څرنګه چې د کارول شوي یخولو اوبو پاکول او هغه دوړې چې ممکن د تجهیزاتو د عملیاتو په جریان کې پیښ شي د کیتوډ یخولو اوبو ټانک کې زیرمه شي ، نو دا اړینه ده چې د هدف نصبولو پرمهال د کاتوډ کولنګ اوبو ټانک چیک او پاک کړئ ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې هدف اسانه دی. د یخ اوبو جریان او دا چې داخل او بهر به بند نشي.

ځینې ​​​​کیتوډونه پلان شوي چې د انود سره یو کوچنی ځای ولري ، نو کله چې هدف نصب کړئ ، نو اړینه ده چې ډاډ ترلاسه کړئ چې د کیتوډ او انود ترمینځ هیڅ لمس یا کنډکټر شتون نلري ، که نه نو لنډ سرکټ به پیښ شي.

د هدف د سم کار کولو څرنګوالي په اړه د معلوماتو لپاره د تجهیزاتو آپریټر لارښود ته مراجعه وکړئ. که چیرې د کارونکي لارښود کې داسې معلومات شتون ونلري، مهرباني وکړئ هڅه وکړئ چې د ګوزان فلز لخوا چمتو شوي اړونده وړاندیزونو سره سم وسیله نصب کړئ. کله چې د هدف فکسچر ټینګ کړئ، لومړی د لاس په واسطه یو بولټ ټینګ کړئ، او بیا بل بلټ د لاس په واسطه په ډیګونال باندې ټینګ کړئ. دا تکرار کړئ تر هغه چې په وسیله کې ټول بولټونه ټینګ شوي نه وي، او بیا د یو څه سره ټینګ کړئ.

4، لنډ سرکټ او د سختوالي معاینه

د هدف وسیلې بشپړیدو وروسته ، دا اړینه ده چې د ټول کیتوډ شارټ سرکټ او سختۍ چیک کړئ ،

دا وړاندیز کیږي چې معلومه کړي چې آیا د مقاومت میټر په کارولو سره په کیتوډ کې لنډ سرکټ شتون لري

د قطار تبعیض. وروسته له دې چې تایید شي چې په کیتوډ کې لنډ سرکټ شتون نلري، د لیک کشف کیدی شي، او اوبه په کیتوډ کې معرفي کیدی شي ترڅو دا تایید کړي چې آیا د اوبو لیک شتون لري.

5، د تودوخې دمخه هدف

هدف پری سپټرینګ د خالص ارګون سپټرینګ ملاتړ کوي ، کوم چې کولی شي د هدف سطح پاک کړي. کله چې هدف مخکې سپک شوی وي ، نو دا مشوره کیږي چې ورو ورو د تودوخې ځواک لوړ کړي ، او د سیرامیک هدف د بریښنا زیاتوالی 1.5WH / cm2 دی. د فلزي هدف د سپټټر کولو دمخه سرعت د سیرامیک هدف بلاک څخه لوړ کیدی شي ، او د بریښنا د زیاتوالي مناسب نرخ 1.5WH / cm2 دی.

د مخکینۍ ټوټې کولو په پروسه کې، موږ اړتیا لرو چې د هدف آرینګ چیک کړو. د تودوخې دمخه وخت عموما شاوخوا 10 دقیقې وي. که چیرې د تیریدلو پدیده شتون ونلري، په دوامداره توګه د تودوخې ځواک زیات کړئ

ټاکل شوي ځواک ته. د تجربې له مخې، د منلو وړ Z لوړ sputtering ځواک د فلزي هدف دی

25watts / cm2، 10watts / cm2 د سیرامیک هدف لپاره. مهرباني وکړئ د کارونکي سیسټم عملیاتي لارښود کې د سپټرینګ پرمهال د ویکیوم چیمبر فشار تنظیم کولو اساس او تجربې ته مراجعه وکړئ. عموما، دا باید ډاډ ترلاسه شي چې د یخولو اوبو په ځای کې د اوبو تودوخه باید د 35 ℃ څخه ټیټه وي، مګر Z دا مهمه ده چې ډاډ ترلاسه شي چې د یخولو اوبو گردش سیسټم په مؤثره توګه کار کولی شي.

د سوپر کولنګ اوبو ګړندی جریان تودوخه لرې کوي ، کوم چې د لوړ ځواک سره د دوامداره تودوخې ډاډ ترلاسه کولو لپاره مهم تضمین دی. د فلزي هدفونو لپاره، دا په عموم ډول د یخولو اوبو جریان دی

د 20lpm د اوبو فشار شاوخوا 5gmp دی؛ د سیرامیک اهدافو لپاره، دا عموما وړاندیز کیږي چې د اوبو جریان 30lpm دی او د اوبو فشار شاوخوا 9gmp دی.

6، د هدف ساتنه

د دې لپاره چې د تودوخې پروسې کې د ناپاک غار له امله رامینځته شوي شارټ سرکټ او آرکینګ څخه مخنیوی وشي ، دا اړینه ده چې په مرحلې کې په مرکز او د سپټرینګ ټریک دواړو خواو کې راټول شوي سپټر لرې کړئ ،

دا د کاروونکو سره هم مرسته کوي چې په دوامداره توګه د z لوړ ځواک کثافت کې سپک شي

7، هدف ذخیره کول

د ګوزان فلز لخوا چمتو شوي هدفونه په دوه اړخیزه ویکیوم پلاستيکي کڅوړو کې بسته شوي. موږ وړاندیز کوو چې کاروونکي هدفونه وساتي، که فلزي یا سیرامیک، په خلا بسته بندۍ کې. په ځانګړې توګه، د اړیکو هدفونه باید د خلا شرایطو لاندې زیرمه شي ترڅو د اړیکو پرت د اکسیډریشن مخه ونیسي ترڅو د اړیکو کیفیت اغیزه وکړي. د فلزي هدفونو بسته بندي کولو په اړه، موږ دا غوښتنه کوو چې Z باید په پاکو پلاستيکي کڅوړو کې بسته شي