د Diamond and Related Materials په ژورنال کې یوه نوې څیړنه د FeCoB etchant سره د پولی کریسټالین الماس په نقاشي تمرکز کوي ترڅو نمونې رامینځته کړي. د دې پرمختللي تخنیکي نوښتونو په پایله کې، د الماس سطحونه پرته له زیان او لږو نیمګړتیاوو سره ترلاسه کیدی شي.
څیړنه: د فوټولیتوګرافیک نمونې سره د FeCoB په کارولو سره په جامد حالت کې د الماس ځایي انتخابي نقاشي. د انځور کریډیټ: Bjorn Wilezic/Shutterstock.com
د جامد حالت د خپریدو پروسې له لارې، د FeCoB نانوکریسټالین فلمونه (Fe:Co:B=60:20:20، اټومي تناسب) کولی شي په مایکرو جوړښت کې د الماسو په نښه کولو او له منځه یوسي.
الماس ځانګړي بایوکیمیکل او بصري ځانګړتیاوې لري، او همدارنګه لوړ لچک او ځواک لري. د دې خورا پایښت د الټرا دقیق ماشینینګ (د الماس بدلولو ټیکنالوژۍ) کې د پرمختګ یوه مهمه سرچینه ده او د سلګونو GPa په حد کې د سخت فشارونو لاره ده.
کیمیاوي بې ثباتي، بصری پایښت او بیولوژیکي فعالیت د سیسټمونو ډیزاین امکانات زیاتوي چې دا فعال ځانګړتیاوې کاروي. ډیمنډ د میکاټرونیک ، آپټیکس ، سینسرونو او ډیټا مدیریت برخو کې د ځان لپاره نوم رامینځته کړی.
د دوی د غوښتنلیک د فعالولو لپاره، د الماسونو تړل او د دوی نمونه ښکاره ستونزې رامینځته کوي. Reactive ion etching (RIE)، inductively coupled plasma (ICP)، او د الکترون بیم انډسډ اینچنګ د موجوده پروسس سیسټمونو مثالونه دي چې د اینچنګ تخنیکونه (EBIE) کاروي.
د الماس جوړښتونه د لیزر او متمرکز آئن بیم (FIB) پروسس کولو تخنیکونو په کارولو سره هم رامینځته شوي. د دې جوړونې تخنیک هدف د ډیلیمینیشن ګړندی کول او همدارنګه د پرله پسې تولید جوړښتونو کې په لویو برخو کې اندازه کولو ته اجازه ورکول دي. دا پروسې د مایع ایچینټ (پلازما، ګازونو، او مایع محلولونو) څخه کار اخلي، کوم چې د لاسته راوړلو وړ جیومیټریک پیچلتیا محدودوي.
دا بنسټیز کار د کیمیاوي بخاراتو د تولید په واسطه د موادو خلاصول مطالعه کوي او په سطحه د FeCoB (Fe:Co:B، 60:20:20 اټومي فیصده) سره پولی کریسټالین الماس رامینځته کوي. اصلي پاملرنه په الماسونو کې د میټر پیمانه جوړښتونو دقیق نقاشي لپاره د TM ماډلونو رامینځته کولو ته ورکول کیږي. لاندې الماس د 30 څخه تر 90 دقیقو لپاره د 700 څخه تر 900 ° C کې د تودوخې درملنې په واسطه د نانوکریسټالین FeCoB سره تړل کیږي.
د الماس نمونې یوه ثابته طبقه د پولی کریسټالین مایکرو جوړښت ته اشاره کوي. د هرې ځانګړې ذرې په دننه کې د خړپړتیا (Ra) اندازه 3.84 ± 0.47 nm وه، او د سطحې ټول ناورین 9.6 ± 1.2 nm و. د نصب شوي FeCoB فلزي طبقې خړپړتیا (د یو الماس د دانې دننه) 3.39 ± 0.26 nm دی، او د پرت لوړوالی 100 ± 10 nm دی.
د 30 دقیقو لپاره په 800 ° C کې د اینیل کولو وروسته، د فلزي سطحې ضخامت 600 ± 100 nm ته لوړ شو، او د سطحې بې ثباتۍ (Ra) 224 ± 22 nm ته لوړه شوه. د annealing په جریان کې، د کاربن اتومونه د FeCoB پرت کې خپریږي، چې په پایله کې یې د اندازې زیاتوالی راځي.
درې نمونې چې د FeCoB طبقې 100 nm ضخامت لري په ترتیب سره د 700، 800، او 900 درجو په تودوخې کې ګرمې شوې. کله چې د تودوخې درجه د 700 درجې سانتي ګراد څخه ښکته وي، د ډیمنډ او FeCoB ترمنځ کوم مهم اړیکه شتون نلري، او ډیر لږ مواد د هایدروترمل درملنې وروسته لرې کیږي. د موادو لیرې کول د 800 درجو څخه پورته تودوخې ته وده ورکول کیږي.
کله چې د تودوخې درجه 900 درجې سانتي ګراد ته ورسیده، د 800 درجو د تودوخې په پرتله د نقاشۍ کچه دوه برابره لوړه شوه. په هرصورت، د ایچ شوي سیمې پروفایل د نصب شوي ایچ ترتیبونو (FeCoB) څخه خورا توپیر لري.
د نمونې رامینځته کولو لپاره د جامد حالت ایچینټ لید لید سکیمیټ: د فوټو لیتوګرافیک نمونې FeCoB په کارولو سره د الماس ځایي انتخابي جامد حالت نقاشي. د انځور کریډیټ: وان زیډ او شنکر ایم آر او نور، الماس او اړوند توکي.
د FeCoB نمونې په الماس باندې 100 nm ضخامت په ترتیب سره د 30، 60 او 90 دقیقو لپاره په 800 ° C کې پروسس شوي.
د نقاشي شوې ساحې خړپړتیا (Ra) په 800 ° C کې د غبرګون وخت د فعالیت په توګه ټاکل شوې. د 30، 60 او 90 دقیقو لپاره د انیل کولو وروسته د نمونو سختۍ په ترتیب سره 186±28 nm، 203±26 nm او 212±30 nm و. د 500، 800، یا 100 nm د اینچ ژوروالي سره، د نقاشي ساحې د خړوبۍ تناسب (RD) په ترتیب سره 0.372، 0.254، او 0.212 دی.
د نقاشۍ د ژوروالي په زیاتوالي سره د خاوري شوي ساحې خړپړتیا د پام وړ نه وده کوي. دا وموندل شوه چې د الماس او HM etchant ترمنځ د عکس العمل لپاره اړین تودوخه د 700 درجو څخه زیاته ده.
د مطالعې پایلې ښیي چې FeCoB کولی شي په مؤثره توګه د Fe یا Co په پرتله خورا ګړندۍ الماس لرې کړي.
د پوسټ وخت: اګست-31-2023