Kawałki krzemku wolframu

Krzemek wolframu WSi2 stosowany jest jako materiał elektrowstrząsowy w mikroelektronice, manewrowaniu na przewodach polikrzemowych, powłokach przeciwutleniających i powłokach drutów oporowych. Krzemek wolframu stosowany jest jako materiał kontaktowy w mikroelektronice o oporności 60-80μΩcm. Powstaje w temperaturze 1000°C. Zwykle stosuje się go jako bocznik dla linii polikrzemowych w celu zwiększenia jego przewodności i zwiększenia prędkości sygnału. Warstwę krzemku wolframu można wytworzyć przez chemiczne osadzanie z fazy gazowej, takie jak osadzanie z fazy gazowej. Jako gaz surowcowy należy stosować monosilan lub dichlorosilan i sześciofluorek wolframu. Osadzona folia nie jest stechiometryczna i wymaga wyżarzania, aby przekształcić ją w bardziej przewodzącą postać stechiometryczną.

Krzemek wolframu może zastąpić wcześniejszą warstwę wolframu. Krzemek wolframu jest również stosowany jako warstwa barierowa między krzemem a innymi metalami.

Krzemek wolframu jest również bardzo cenny w układach mikroelektromechanicznych, wśród których krzemek wolframu stosowany jest głównie jako cienka warstwa do produkcji mikroukładów. W tym celu warstwę krzemku wolframu można trawić plazmowo, na przykład za pomocą krzemku.

Firma Rich Special Materials specjalizuje się w produkcji tarcz rozpylających i może produkować krzemek wolframusztukiwedług specyfikacji Klienta. Aby uzyskać więcej informacji, skontaktuj się z nami.