Teraz coraz więcej użytkowników rozumie rodzaje celów ijego zastosowania, ale jego podział może nie być zbyt jasny. Teraz zróbmy toInżynier RSM podzielić się z tobąjakaś indukcja celów rozpylania magnetronowego.
Cel napylania: tarcza napylania metalowego, tarcza napylania stopu, tarcza napylania ceramicznego, tarcza napylania ceramicznego borku, tarcza napylania ceramicznego z węglika, tarcza napylająca ceramiczna fluorkowa, tarcza napylająca azotkowo-ceramiczna, tarcza ceramiczna tlenkowa, tarcza napylająca ceramiczna selenkowa, tarcza napylająca ceramiczna krzemkowo tarcza, tarcza do napylania ceramiki siarczkowej, tarcza do napylania ceramiki tellurkowej, inne tarcze ceramiczne, Tarcza ceramiczna z tlenku krzemu domieszkowanego chromem (CR SiO), tarcza z fosforku indu (INP), tarcza z arsenku ołowiu (pbas), tarcza z arsenku indu (InAs).
Rozpylanie magnetronowe ogólnie dzieli się na dwa typy: rozpylanie DC i rozpylanie RF. Zasada działania sprzętu do napylania prądem stałym jest prosta, a jego szybkość jest również duża w przypadku napylania metalu. Rozpylanie RF jest szeroko stosowane. Oprócz rozpylania danych przewodzących może również rozpylać dane nieprzewodzące. Cel napylania można również wykorzystać do napylania reaktywnego w celu przygotowania danych dotyczących związków, takich jak tlenki, azotki i węgliki. Jeśli częstotliwość RF wzrośnie, stanie się to mikrofalowym rozpylaniem plazmy. Obecnie powszechnie stosuje się mikrofalowe rozpylanie plazmowe za pomocą elektronowego rezonansu cyklotronowego (ECR).
Czas publikacji: 26 maja 2022 r