Wraz ze wzrostem zapotrzebowania rynku stale aktualizowanych jest coraz więcej rodzajów celów do rozpylania. Niektóre są znane, inne nieznane klientom. Teraz chcielibyśmy podzielić się z Wami, jakie są rodzaje celów rozpylania magnetronowego.
Tarcze do napylania mają następujące typy: tarcza do napylania metali, tarcza do napylania stopów, tarcza do napylania ceramicznego, tarcza do napylania ceramicznego z borku, tarcza do napylania z węglika ceramicznego, tarcza do napylania ceramiki fluorkowej, tarcza do napylania azotku ceramicznego, tarcza z ceramiki tlenkowej, tarcza do napylania ceramiki selenkowej , tarcza napylająca z ceramiki krzemkowej, tarcza napylająca z ceramiki siarczkowej, tarcza napylająca z ceramiki tellurkowej, inna ceramika tarcze, tarcza ceramiczna z tlenku krzemu domieszkowanego chromem (CR SiO), tarcza z fosforku indu (INP), tarcza z arsenku ołowiu (pbas), tarcza z arsenku indu (InAs).
Rozpylanie magnetronowe ogólnie dzieli się na dwa typy: rozpylanie DC i rozpylanie RF. Zasada działania sprzętu do napylania prądem stałym jest prosta, a jego szybkość jest również duża w przypadku napylania metalu. Rozpylanie RF jest szeroko stosowane. Oprócz rozpylania danych przewodzących może również rozpylać dane nieprzewodzące. Jednocześnie tarcza do rozpylania przeprowadza również rozpylanie reaktywne w celu przygotowania danych złożonych, takich jak tlenki, azotki i węgliki. Jeśli częstotliwość RF wzrośnie, stanie się to mikrofalowym rozpylaniem plazmy. Obecnie powszechnie stosuje się mikrofalowe rozpylanie plazmowe za pomocą elektronowego rezonansu cyklotronowego (ECR).
Czas publikacji: 18 maja 2022 r