1. Przygotowanie do napylania
Bardzo ważne jest utrzymywanie w czystości komory próżniowej, zwłaszcza układu napylającego. Wszelkie pozostałości powstałe w wyniku oleju smarowego, kurzu i poprzedniej powłoki będą gromadzić parę wodną i inne zanieczyszczenia, co bezpośrednio wpłynie na stopień podciśnienia i zwiększy możliwość uszkodzenia błonotwórczego. Zwarcie lub wyładowanie łukowe tarczy, szorstka powierzchnia folii i nadmierna zawartość zanieczyszczeń chemicznych są często spowodowane nieczystą komorą napylającą, pistoletem napylającym i tarczą. Aby zachować właściwości składu powłoki, należy oczyścić i osuszyć gaz rozpylający (argon lub tlen). Po zainstalowaniu podłoża w komorze napylania należy odessać powietrze, aby osiągnąć wymaganą w procesie próżnię. Osłonę ekranującą w ciemnym obszarze, ścianę szczeliny i przylegającą powierzchnię również należy utrzymywać w czystości. Podczas czyszczenia komory próżniowej zalecamy obróbkę strumieniowo-ścierną kulką szklaną w celu oczyszczenia zakurzonych części wraz ze sprężonym powietrzem w celu usunięcia wczesnych pozostałości po napylaniu wokół komory, a następnie ciche wypolerowanie powierzchni zewnętrznej papierem ściernym impregnowanym tlenkiem glinu. Po wypolerowaniu gazę czyści się alkoholem, acetonem i wodą dejonizowaną. Wspólnie zalecają stosowanie odkurzacza przemysłowego do czyszczenia pomocniczego. Tarcze produkowane przez Gaozhan Metal pakowane są w plastikowe torby zamykane próżniowo,
Wbudowany środek odporny na wilgoć. Podczas używania tarczy nie dotykaj tarczy bezpośrednio ręką. Uwaga: podczas korzystania z tarczy należy nosić czyste i niestrzępiące się rękawice konserwacyjne. Nigdy nie dotykaj celu bezpośrednio rękami
2. Czyszczenie celu
Celem czyszczenia tarczy jest usunięcie kurzu lub brudu, który może znajdować się na powierzchni tarczy.
Tarczę metalową można czyścić w czterech etapach,
Pierwszym krokiem jest czyszczenie niestrzępiącą się, miękką ściereczką nasączoną acetonem;
Drugi etap jest podobny do pierwszego i polega na czyszczeniu alkoholem;
Krok 3: oczyść wodą dejonizowaną. Po umyciu wodą dejonizowaną tarczę należy umieścić w piekarniku i suszyć w temperaturze 100℃ przez 30 minut.
Tarcze tlenkowe i ceramiczne należy czyścić „niestrzępiącą się szmatką”.
Czwartym krokiem jest przemycie tarczy argonem gazem o wysokim ciśnieniu i niskiej zawartości wody po usunięciu zapylenia, w celu usunięcia wszelkich cząstek zanieczyszczeń, które mogą tworzyć łuk w układzie napylającym
3. Urządzenie docelowe
W procesie instalacji tarczy Z ważnymi środkami ostrożności jest zapewnienie dobrego połączenia przewodzenia ciepła pomiędzy tarczą a ścianą chłodzącą pistoletu napylającego. Jeśli wypaczenie listwy chłodzącej jest poważne lub wypaczenie tylnej płyty jest poważne, urządzenie docelowe pęknie lub wygnie się, co znacznie wpłynie na przewodność cieplną od tarczy tylnej do tarczy, co spowoduje brak odprowadzania ciepła w procesie rozpylania, a cel pęknie lub chybi
Aby zapewnić przewodność cieplną, pomiędzy ścianką chłodzącą katodę a tarczą można włożyć warstwę papieru grafitowego. Proszę zwrócić uwagę, aby dokładnie sprawdzić i oczyścić płaskość ścianki chłodzącej używanego pistoletu napylającego, aby upewnić się, że O-ring jest zawsze na swoim miejscu.
Ponieważ czystość używanej wody chłodzącej oraz pył, który może powstać podczas pracy urządzenia, będą osadzać się w zbiorniku wody chłodzącej katodę, konieczne jest sprawdzenie i oczyszczenie zbiornika wody chłodzącej katodę podczas instalowania tarczy, aby zapewnić płynne działanie cyrkulację wody chłodzącej oraz aby wlot i wylot nie były zablokowane.
W przypadku niektórych katod planuje się małą przestrzeń z anodą, dlatego podczas instalowania tarczy należy upewnić się, że między katodą a anodą nie ma dotyku ani przewodnika, w przeciwnym razie nastąpi zwarcie.
Informacje na temat prawidłowej obsługi tarczy znajdują się w instrukcji obsługi urządzenia. Jeżeli w instrukcji obsługi nie ma takiej informacji, należy spróbować zamontować urządzenie zgodnie z odpowiednimi sugestiami dostarczonymi przez firmę Gaozhan metal. Podczas dokręcania uchwytu docelowego najpierw dokręć ręcznie jedną śrubę, a następnie ręcznie dokręć drugą śrubę po przekątnej. Powtarzaj tę czynność, aż wszystkie śruby na urządzeniu zostaną dokręcone, a następnie dokręć czymś.
4. Kontrola zwarcia i szczelności
Po skompletowaniu docelowego urządzenia należy sprawdzić zwarcie i szczelność całej katody,
Proponuje się określenie, czy na katodzie występuje zwarcie, za pomocą miernika rezystancji
Dyskryminacja rzędowa. Po potwierdzeniu, że na katodzie nie ma zwarcia, można przeprowadzić wykrywanie nieszczelności i wprowadzić do katody wodę w celu sprawdzenia, czy nie ma wycieku wody.
5, Celuj przed rozpylaniem
Napylanie wstępne celu zaleca się napylanie czystego argonu, które może oczyścić powierzchnię celu. Gdy cel jest wstępnie napylony, zaleca się powolne zwiększanie mocy napylania, a tempo wzrostu mocy celu ceramicznego wynosi 1,5 WH/cm2. Prędkość napylania tarczy metalowej przed napylaniem może być wyższa niż w przypadku bloku tarczy ceramicznej, a rozsądna szybkość wzrostu mocy wynosi 1,5 WH/cm2.
W procesie wstępnego rozpylania musimy sprawdzić łuk tarczy. Czas wstępnego rozpylania wynosi zazwyczaj około 10 minut. Jeśli nie występuje zjawisko wyładowania łukowego, stale zwiększaj moc rozpylania
Do ustawionej mocy. Z doświadczenia wynika, że akceptowalna wysoka moc rozpylania Z tarczy metalowej wynosi
25 watów / cm2, 10 watów / cm2 dla tarczy ceramicznej. Proszę zapoznać się z podstawą ustawień i doświadczeniami dotyczącymi ciśnienia w komorze próżniowej podczas rozpylania w instrukcji obsługi systemu użytkownika. Generalnie należy zadbać o to, aby temperatura wody na wylocie wody chłodzącej była niższa niż 35 ℃, jednak ważne jest, aby układ cyrkulacji wody chłodzącej mógł efektywnie działać
Szybka cyrkulacja wody przechłodzącej odbiera ciepło, co jest ważną gwarancją zapewnienia ciągłego rozpylania z dużą mocą. W przypadku celów metalowych ogólnie zaleca się przepływ wody chłodzącej
Ciśnienie wody przy 20lpm wynosi około 5gmp; W przypadku celów ceramicznych ogólnie zaleca się, aby przepływ wody wynosił 30 l/min, a ciśnienie wody około 9 gmp
6. Utrzymanie celu
Aby zapobiec zwarciom i wyładowaniom łukowym powodowanym przez nieczystą wnękę w procesie napylania, konieczne jest etapowe usuwanie napylania nagromadzonego w środku i po obu stronach toru napylania,
Pomaga to również użytkownikom w ciągłym rozpylaniu przy dużej gęstości mocy
7. Magazyn docelowy
Tarcze dostarczane przez firmę Gaozhan metal pakowane są w dwuwarstwowe plastikowe worki próżniowe. Zalecamy, aby użytkownicy przechowywali tarcze, zarówno metalowe, jak i ceramiczne, w opakowaniach próżniowych. W szczególności cele wiążące muszą być przechowywane w warunkach próżniowych, aby zapobiec wpływowi utleniania warstwy wiążącej na jakość wiązania. Jeśli chodzi o pakowanie celów metalowych, zalecamy pakowanie Z w czyste plastikowe torby
Czas publikacji: 13 maja 2022 r