Ogniotrwałe metale wolframowe i stopy wolframu mają zalety stabilności w wysokiej temperaturze, wysokiej odporności na migrację elektronów i wysokiego współczynnika emisji elektronów. Tarcze z wolframu i stopów wolframu o wysokiej czystości są wykorzystywane głównie do wytwarzania elektrod bramkowych, okablowania połączeniowego, warstw barier dyfuzyjnych w półprzewodnikowych układach scalonych. Mają bardzo wysokie wymagania co do czystości, zawartości pierwiastków domieszkowych, gęstości, wielkości ziaren i jednolitej struktury ziarnistej materiałów. Przyjrzyjmy się czynnikom wpływającym na przygotowanie tarczy wolframowej o wysokiej czystościby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Wpływ temperatury spiekania
Proces formowania docelowego zarodka wolframowego zwykle odbywa się pod wpływem zimnego ciśnienia izostatycznego. Ziarno wolframu będzie rosło podczas spiekania. Wzrost ziarna wolframu wypełni lukę pomiędzy granicami kryształów, zwiększając w ten sposób gęstość celu wolframowego. Wraz ze wzrostem czasu spiekania przyrost gęstości tarczy wolframowej stopniowo maleje. Głównym powodem jest to, że jakość docelowego materiału wolframowego nie zmieniła się zbytnio po kilku procesach spiekania. Ponieważ większość pustych przestrzeni na granicy kryształów jest wypełniona kryształami wolframu, ogólna szybkość zmiany rozmiaru tarczy wolframowej jest bardzo mała po każdym procesie spiekania, co powoduje ograniczoną przestrzeń dla wzrostu gęstości tarczy wolframowej. W miarę postępu spiekania duże ziarna wolframu wypełniają puste przestrzenie, co skutkuje gęstszym celem o mniejszych rozmiarach.
2. Efekthjedz czas konserwacji
Przy tej samej temperaturze spiekania, wraz ze wzrostem czasu spiekania poprawia się zwartość docelowego materiału wolframowego. Wraz ze wzrostem czasu spiekania zwiększa się wielkość ziaren wolframu, a wraz z wydłużaniem czasu spiekania współczynnik wzrostu wielkości ziaren stopniowo maleje. Pokazuje to, że wydłużenie czasu spiekania może również poprawić wydajność tarczy wolframowej.
3. Wpływ przetoczenia na cel Pwydajność
Aby poprawić gęstość materiałów docelowych wolframu i uzyskać strukturę przetwarzania materiałów docelowych wolframu, walcowanie materiałów wolframowych w średniej temperaturze należy przeprowadzić poniżej temperatury rekrystalizacji. Gdy temperatura walcowania półwyrobu docelowego jest wysoka, struktura włókien półwyrobu docelowego jest grubsza, podczas gdy półwyrobu docelowego jest delikatniejsza. Gdy wydajność walcowania na gorąco przekracza 95%. Chociaż różnice w strukturze włókien spowodowane różnymi temperaturami pierwotnego spiekania lub walcowania zostaną wyeliminowane, wewnątrz tarczy utworzy się bardziej jednorodna struktura włókien, więc im wyższa szybkość przetwarzania walcowania na ciepło, tym lepsza wydajność tarczy.
Czas publikacji: 05 maja 2022 r