Bogate materiały specjalne Co., Ltd. dostarcza tarcze do napylania cyrkonu o wysokiej czystości, o najwyższej możliwej gęstości i najmniejszych możliwych średnich rozmiarach ziaren, do stosowania w wyświetlaczach półprzewodnikowych, chemicznym osadzaniu z fazy gazowej (CVD) i fizycznym osadzaniu z fazy gazowej (PVD) oraz zastosowaniach optycznych. Nasze standardowe tarcze do napylania dla cienkich folii są dostępne w wersji monoblokowej lub łączonej z planarnymi tarczami o wymiarach i konfiguracjach do 820 mm z miejscami wiercenia otworów oraz gwintowaniem, ukosowaniem, rowkami i podkładem zaprojektowanym do współpracy zarówno ze starszymi urządzeniami do napylania, jak i najnowszym sprzętem procesowym, takie jak powłoki wielkopowierzchniowe do zastosowań związanych z energią słoneczną lub ogniwami paliwowymi oraz zastosowania typu flip-chip. Produkowane są również cele o rozmiarach badawczych, a także o niestandardowych rozmiarach i stopach. Wszystkie cele analizuje się przy użyciu najlepiej zademonstrowanych technik, w tym fluorescencji rentgenowskiej (XRF).
Czas publikacji: 3 maja 2023 r