Target itrowy o wysokiej czystości — ważny element powłoki PVD

Co to jest cel rozpylania itru?
Tarcza itrowa jest wytwarzana głównie przez tarczę napylającą itr z pierwiastkiem metalowym, ponieważ pierwiastek itr (Y) jest jednym z pierwiastków metali ziem rzadkich, dlatego tarcza itrowa jest również znana jako tarcza z pierwiastkami ziem rzadkich.
Cele itrowe są stosowane głównie w technologii osadzania napylającego. Technologia napylania jest jedną z technologii fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD) i jest jedną z głównych technologii wytwarzania elektronicznych materiałów cienkowarstwowych. Bombardując powierzchnię celu cząstkami o wysokiej energii (takimi jak jony lub wiązki elektronów), atomy lub cząsteczki celu są rozpylane i osadzane na innym podłożu, tworząc pożądaną warstwę lub powłokę.
Tarcza itrowa jest po prostu materiałem źródłowym pożądanej folii lub powłoki przygotowanej w technologii PVD.

Co jesttheDo czego używany jest cel napylania itru?

Cele itrowe mają szeroki zakres zastosowań w kilku dziedzinach, a główne obszary zastosowań przedstawiono poniżej:

1. Materiały półprzewodnikowe: W przemyśle półprzewodników tarcze itrowe służą do wytwarzania określonych warstw w materiałach półprzewodnikowych lub elementach elektronicznych, takich jak tranzystory, układy scalone itp.
2. Powłoka optyczna: W dziedzinie optyki tarcze itrowe można stosować do wytwarzania powłok optycznych o wysokim współczynniku załamania światła i niskim współczynniku rozpraszania, które odgrywają ważną rolę w produkcji urządzeń optycznych, takich jak lasery i filtry optyczne.
3. Osadzanie cienkowarstwowe: Tarcza itrowa zajmuje ważną pozycję w technologii osadzania cienkowarstwowego, a jej wysoka czystość, dobra stabilność oraz specyficzne właściwości fizyczne i chemiczne sprawiają, że jest to idealny wybór do przygotowywania różnych materiałów cienkowarstwowych. Te cienkowarstwowe materiały mają szeroki zakres zastosowań w dziedzinach optycznych, elektronicznych, magnetycznych i innych.
4. Dziedzina medycyny: cele itrowe mają ważne zastosowania w medycynie radiacyjnej, takie jak źródło promieni rentgenowskich i promieni gamma, obrazowanie diagnostyczne (takie jak tomografia komputerowa) oraz radioterapia. Ponadto określone izotopy itru (takie jak Y-90) można również stosować w radiofarmaceutykach do celowanego leczenia określonych nowotworów.
5. Przemysł energii jądrowej: W reaktorach jądrowych tarcze itrowe są stosowane jako materiały dźwigniowe do kontrolowania szybkości i stabilności reakcji jądrowych ze względu na ich doskonałą zdolność absorpcji neutronów.

Uwaga: Ponieważ wymagania eksploatacyjne tarcz itrowych w różnych obszarach zastosowań mogą się różnić, należy wybrać odpowiednią tarczę zgodnie z rzeczywistą sytuacją w konkretnym zastosowaniu. (Takie jak konkretna czystość, stosunek składu, rozmiar, kształt itp., dostosowane do konkretnych wymagań.)

Technologia produkcji tarcz napylanych itrem?

1. Przygotuj proszek itru 2. HIP, formowanie tłoczne 3. Spiekanie w wysokiej temperaturze 4. Późniejsza obróbka (cięcie, polerowanie itp.) 5. Czyszczenie i pakowanie

Uwaga: Oprócz powyższych podstawowych etapów, w zależności od konkretnej metody przygotowania i potrzeb zastosowania, cele napylania itru mogą również obejmować inne etapy i technologie, takie jak metoda napylania, metoda topienia próżniowego itp. Metody te pomagają w dalszym dostosowaniu i optymalizacji wydajność i strukturę materiału docelowego.

Jak wybrać wysokiej jakości cel do napylania?

Poniżej wymieniono 7 ważnych czynników wpływających na wybór wysokiej jakości obiektów do rozpylania:

1. Cześćgh czystość

Cele o wysokiej czystości mają lepsze właściwości materiałowe i bardziej stabilne właściwości fizyczne i chemiczne, co jest niezbędne do zapewnienia jakości i wydajności powłok napylanych. Specyficzne wymagania dotyczące czystości powinny zostać określone zgodnie ze scenariuszem zastosowania. W przypadku niektórych prostych scenariuszy zastosowań nie trzeba dążyć do bardzo wysokiej czystości, aby nie zwiększać niepotrzebnych kosztów. To, co Ci odpowiada, jest najlepsze.

2.Stabilność

Równie ważna jest stabilność celu, która pozwala uniknąć strat materiału lub wahań wydajności podczas rozpylania. Dlatego przy wyborze wybiera się tę specjalną obróbkę lub dobrą stabilność produktu.

3. Rozmiar i kształt

Rozmiar i kształt tarczy do napylania należy dobrać zgodnie ze specyficznymi wymaganiami sprzętu do powlekania, aby dostosować ją do różnych procesów napylania i potrzeb produkcyjnych. Zapewnienie dopasowania celu do sprzętu zwiększa wydajność rozpylania i zmniejsza ilość odpadów.

4.Gęstość

Gęstość jest jednym z ważnych wskaźników mierzących jakość materiału docelowego. Materiał docelowy o dużej gęstości może zapewnić lepszy efekt rozpylania. Przy wyborze należy zwrócić uwagę na dane dotyczące gęstości celu i starać się wybierać produkty o większej gęstości.

5. Dokładność przetwarzania

Dokładność przetwarzania celu jest również jednym z czynników, które należy wziąć pod uwagę. Ogólnie rzecz biorąc, wymagana jest dokładność przetwarzania celu w zakresie ± 0,1 mm, aby zapewnić stabilność procesu napylania i jednolitość jakości powłoki.

6.Specjalne wymagania

W przypadku niektórych specjalnych scenariuszy zastosowań, takich jak potrzeba wysokiej przepuszczalności światła, niska absorpcja celu (powłoka optyczna) lub wysoka przewodność, wysoka stabilność celu (pole elektroniczne), należy wybrać zgodnie ze specyficznymi potrzebami odpowiedniego celu typ.

7.Wybierz profesjonalnego producenta lub dostawcę.