Cel ma wiele skutków, a przestrzeń rozwoju rynku jest duża. Jest bardzo przydatny w wielu dziedzinach. Prawie wszystkie nowe urządzenia do rozpylania wykorzystują silne magnesy do spiralowania elektronów w celu przyspieszenia jonizacji argonu wokół obiektu docelowego, co powoduje wzrost prawdopodobieństwa zderzenia obiektu z jonami argonu. Przyjrzyjmy się teraz roli celu rozpylania w powlekaniu próżniowym.
Popraw szybkość rozpylania. Ogólnie rzecz biorąc, rozpylanie DC jest stosowane do powlekania metali, podczas gdy rozpylanie RF AC jest stosowane w przypadku nieprzewodzących ceramicznych materiałów magnetycznych. Podstawową zasadą jest użycie wyładowania jarzeniowego do uderzenia jonów argonu (AR) w powierzchnię tarczy w próżni, a kationy w plazmie przyspieszą i pędzą na powierzchnię elektrody ujemnej w postaci rozpryskanego materiału. Uderzenie spowoduje, że materiał celu wyleci i osadzi się na podłożu, tworząc warstwę.
Ogólnie rzecz biorąc, istnieje kilka cech charakterystycznych procesu powlekania metodą napylania katodowego: (1) metal, stop lub izolator można przekształcić w folię.
(2) W odpowiednich warunkach film o tym samym składzie może być wykonany z wielu nieuporządkowanych celów.
(3) Mieszaninę lub związek materiału tarczy i cząsteczek gazu można wytworzyć przez dodanie tlenu lub innych gazów aktywnych do atmosfery wyładowczej.
(4) Można kontrolować docelowy prąd wejściowy i czas rozpylania i łatwo jest uzyskać bardzo precyzyjną grubość warstwy.
(5) W porównaniu z innymi procesami sprzyja produkcji jednolitych folii o dużej powierzchni.
(6) Na rozpylane cząstki prawie nie ma wpływu grawitacja, a pozycje celu i podłoża można dowolnie układać.
Czas publikacji: 17 maja 2022 r