Ostatnio wielu znajomych pytało o właściwości tarcz do napylania molibdenu. Jakie są wymagania dotyczące charakterystyki tarcz do napylania molibdenu w przemyśle elektronicznym, aby poprawić wydajność napylania i zapewnić jakość osadzanych filmów? Teraz wyjaśnią nam to eksperci techniczni z RSM.
1. Czystość
Wysoka czystość jest podstawowym wymogiem charakterystycznym dla tarczy do napylania molibdenu. Im wyższa czystość celu molibdenowego, tym lepsze właściwości folii napylanej. Ogólnie rzecz biorąc, czystość tarczy do napylania molibdenu powinna wynosić co najmniej 99,95% (ułamek masowy, taki sam poniżej). Jednakże w związku z ciągłym ulepszaniem rozmiaru podłoża szklanego w branży LCD, konieczne jest wydłużenie długości okablowania i zmniejszenie szerokości linii. Aby zapewnić jednorodność folii i jakość okablowania, należy również odpowiednio zwiększyć czystość tarczy do napylania molibdenu. Dlatego też, w zależności od wielkości napylanego podłoża szklanego i środowiska użytkowania, wymagana jest czystość celu do napylania molibdenu na poziomie 99,99% – 99,999% lub nawet więcej.
Tarcza do napylania molibdenu jest używana jako źródło katody w napylaniu katodowym. Głównymi źródłami zanieczyszczeń osadzającymi się filmami są zanieczyszczenia w postaci stałej oraz tlen i para wodna w porach. Ponadto w przemyśle elektronicznym, ponieważ jony metali alkalicznych (Na, K) łatwo stają się jonami mobilnymi w warstwie izolacyjnej, wydajność oryginalnego urządzenia jest zmniejszona; Pierwiastki takie jak uran (U) i tytan (TI) zostaną uwolnione w promieniowaniu rentgenowskim α, co spowoduje miękkie uszkodzenie urządzeń; Jony żelaza i niklu spowodują wyciek na granicy faz i wzrost zawartości pierwiastków tlenowych. Dlatego w procesie przygotowania tarczy do napylania molibdenu należy ściśle kontrolować te pierwiastki zanieczyszczeń, aby zminimalizować ich zawartość w tarczy.
2. Wielkość i rozkład wielkości ziaren
Ogólnie rzecz biorąc, celem napylania molibdenu jest struktura polikrystaliczna, a wielkość ziaren może wahać się od mikronów do milimetrów. Wyniki eksperymentów pokazują, że szybkość rozpylania celu drobnoziarnistego jest większa niż w przypadku celu gruboziarnistego; W przypadku tarczy o małej różnicy w wielkości ziaren rozkład grubości osadzonej folii jest również bardziej równomierny.
3. Orientacja kryształów
Ponieważ atomy docelowe są łatwe do preferencyjnego rozpylania wzdłuż kierunku najbliższego ułożenia atomów w kierunku sześciokątnym podczas rozpylania, w celu osiągnięcia najwyższej szybkości rozpylania, szybkość rozpylania często zwiększa się poprzez zmianę struktury krystalicznej tarczy. Kierunek kryształu tarczy ma również duży wpływ na jednorodność grubości napylanej folii. Dlatego bardzo ważne jest uzyskanie określonej docelowej struktury zorientowanej na kryształ dla procesu rozpylania folii.
4. Zagęszczenie
W procesie napylania, podczas bombardowania tarczy napylającej o małej gęstości, następuje nagłe uwolnienie gazu znajdującego się w wewnętrznych porach tarczy, w wyniku czego następuje rozpryskiwanie cząstek lub cząstek tarczy o dużych rozmiarach lub bombardowanie materiału folii przez elektrony wtórne po utworzeniu filmu, co powoduje rozpryskiwanie cząstek. Pojawienie się tych cząstek obniży jakość folii. Aby zmniejszyć pory w docelowej substancji stałej i poprawić działanie folii, wymagana jest na ogół, aby tarcza do napylania miała dużą gęstość. W przypadku docelowego napylania molibdenu jego gęstość względna powinna wynosić ponad 98%.
5. Wiązanie celu z podwoziem
Ogólnie rzecz biorąc, tarcza do napylania molibdenu musi być połączona z obudową z miedzi beztlenowej (lub aluminium i innych materiałów) przed napylaniem, tak aby przewodność cieplna tarczy i obudowy była dobra podczas procesu napylania. Po związaniu należy przeprowadzić kontrolę ultradźwiękową, aby upewnić się, że powierzchnia niezwiązana obu elementów jest mniejsza niż 2%, aby spełnić wymagania rozpylania o dużej mocy bez odpadania.
Czas publikacji: 19 lipca 2022 r