ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ର ପ୍ରକାର |

ବଜାର ଚାହିଦା ବୃଦ୍ଧି ସହିତ, ଅଧିକରୁ ଅଧିକ ପ୍ରକାରର ସ୍ପଟର୍ଙ୍ଗ ଟାର୍ଗେଟ୍ କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ଅପଡେଟ୍ ହୁଏ | କେତେକ ପରିଚିତ ଏବଂ କେତେକ ଗ୍ରାହକଙ୍କ ପାଇଁ ଅପରିଚିତ | ବର୍ତ୍ତମାନ, ଆମେ ଆପଣଙ୍କ ସହିତ ବାଣ୍ଟିବାକୁ ଚାହିଁବୁ କି ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପ୍ରକାରଗୁଡିକ |

ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟରେ ନିମ୍ନଲିଖିତ ପ୍ରକାରଗୁଡିକ ଅଛି: ଧାତୁ ସ୍ପୁଟରିଙ୍ଗ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ଆଲୋଇ ସ୍ପୁଟରିଙ୍ଗ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ବୋରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ସେଲେନାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପଟର୍ଟିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ | , ସିଲାଇସିଡ୍ ସିରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ସଲଫାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଟେଲୁରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଅନ୍ୟ ସିରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, କ୍ରୋମିୟମ୍ ଡୋପେଡ୍ ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (CR SiO), ଇଣ୍ଡିଆମ୍ ଫସଫାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (INP), ଲିଡ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (pbas), ଇଣ୍ଡିୟମ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (InAs) |

ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ସାଧାରଣତ two ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ: ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟରିଙ୍ଗ୍ | ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଉପକରଣର ନୀତି ସରଳ, ଏବଂ ଧାତୁ ଛିଞ୍ଚିବାବେଳେ ଏହାର ହାର ମଧ୍ୟ ଦ୍ରୁତ ଅଟେ | RF sputtering ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ | କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଡାଟା ସ୍ପଟର୍ କରିବା ସହିତ, ଏହା ଅଣ-କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଡାଟା ମଧ୍ୟ ସ୍ପଟର୍ କରିପାରେ | ଏକାସାଙ୍ଗରେ, ଅକ୍ସିଡସ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବାଇଡ୍ ଭଳି ଯ comp ଗିକ ତଥ୍ୟ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ପଟ୍ଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ ମଧ୍ୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ କରିଥାଏ | ଯଦି ଆରଏଫ୍ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ increases େ, ଏହା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପଟର୍ଙ୍ଗରେ ପରିଣତ ହେବ | ବର୍ତ୍ତମାନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରିଜୋନାନ୍ସ (ECR) ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପୁଟର୍ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |