ଟାର୍ଗେଟ୍ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ପ୍ରୟୋଗ ଏବଂ ନୀତି ବିଷୟରେ, କିଛି ଗ୍ରାହକ RSM ସହିତ ପରାମର୍ଶ କରିଛନ୍ତି, ବର୍ତ୍ତମାନ ଏହି ସମସ୍ୟା ପାଇଁ, ବ technical ଷୟିକ ବିଶେଷଜ୍ଞମାନେ କିଛି ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସମ୍ବନ୍ଧୀୟ ଜ୍ଞାନ ବାଣ୍ଟନ୍ତି |
Sputtering target application:
ଚାର୍ଜିଂ କଣିକା (ଯେପରିକି ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ) ଏକ କଠିନ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ, ଯାହା ପରମାଣୁ, ଅଣୁ କିମ୍ବା ବଣ୍ଡଲ୍ ପରି ଭୂପୃଷ୍ଠ କଣିକାକୁ “ସ୍ପଟର୍ଟିଂ” ନାମକ ବସ୍ତୁ ଘଟଣାରୁ ରକ୍ଷା କରିଥାଏ | ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣରେ, ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ଦ୍ ated ାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ସକରାତ୍ମକ ଆୟନଗୁଡିକ ସାଧାରଣତ the କଠିନ (ଟାର୍ଗେଟ୍) କୁ ବୋମା ଦେବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ସ୍ପଟର୍ ନ୍ୟୁଟ୍ରାଲ୍ ପରମାଣୁଗୁଡିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (ୱାର୍କସିପ୍) ରେ ଏକ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ଗଠନ ପାଇଁ ଜମା ହୋଇଥାଏ | ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣର ଦୁଇଟି ଗୁଣ ଅଛି: “ନିମ୍ନ ତାପମାତ୍ରା” ଏବଂ “ଦ୍ରୁତ” |
ଚୁମ୍ବକୀୟ ସ୍ପଟରିଂ ନୀତି:
ସ୍ପଟର୍ଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୋଲ (କ୍ୟାଥୋଡ୍) ଏବଂ ଆନାଡ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଯୋଡା ଯାଇଥାଏ ଏବଂ ଆବଶ୍ୟକ ଇର୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ (ସାଧାରଣତ Ar ଆର୍ ଗ୍ୟାସ୍) ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଭରାଯାଇଥାଏ | ସ୍ଥାୟୀ ଚୁମ୍ବକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ପୃଷ୍ଠରେ 250-350 ଗସ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଭୋଲ୍ଟେଜ୍ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ଏକ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ୍ କ୍ଷେତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ |
ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର କାର୍ଯ୍ୟ ଅଧୀନରେ, ଆର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସକରାତ୍ମକ ଆୟନ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ରେ ଆୟନାଇଜ୍ ହୁଏ ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଉପରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ନକାରାତ୍ମକ ଉଚ୍ଚ ଚାପ ରହିଥାଏ, ତେଣୁ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୋଲରୁ ନିର୍ଗତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟର ଆୟନାଇଜେସନ୍ ସମ୍ଭାବନା ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ | ଗ୍ୟାସ ବୃଦ୍ଧି ହୁଏ | କ୍ୟାଥୋଡ୍ ନିକଟରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ସାନ୍ଦ୍ରତା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏବଂ ଆର୍ ଆୟନଗୁଡିକ ଲୋରେଣ୍ଟଜ୍ ଫୋର୍ସର କାର୍ଯ୍ୟ ଅଧୀନରେ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ବେଗରେ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ, ଯାହା ଦ୍ target ାରା ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳ ଉପରେ ବିସ୍ତୃତ ପରମାଣୁଗୁଡିକ ଉଚ୍ଚତର ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରୁ ଖସିଯାଏ | ଗତିଜ ଶକ୍ତି ଏବଂ ଗତି ରୂପାନ୍ତରର ନୀତି ଅନୁଯାୟୀ ଏକ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ କୁ ଉଡ଼ନ୍ତୁ |
ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ସାଧାରଣତ two ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ: ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟରିଙ୍ଗ୍ | ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଉପକରଣର ନୀତି ସରଳ, ଏବଂ ଧାତୁ ଛିଞ୍ଚିବା ସମୟରେ ହାର ଦ୍ରୁତ ଅଟେ | କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସ୍ପଟର୍ କରିବା ବ୍ୟତୀତ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟର୍ଙ୍ଗର ବ୍ୟବହାର ଅଧିକ ବ୍ୟାପକ ଅଟେ, ଏବଂ ଅଣ-କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ମଧ୍ୟ ସ୍ପୁଟର୍ କରିଥାଏ, ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବାଇଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଯ ound ଗିକ ସାମଗ୍ରୀର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପୁଟର୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି ମଧ୍ୟ କରିଥାଏ | ଯଦି ଆରଏଫ୍ ର ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ increases େ, ଏହା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପଟର୍ଙ୍ଗରେ ପରିଣତ ହୁଏ | ବର୍ତ୍ତମାନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରିଜୋନାନ୍ସ (ECR) ପ୍ରକାର ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପୁଟର୍ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ -01-2022 |