Niob-målmaterialer brukes hovedsakelig i optisk belegg, overflateteknisk materialebelegg og beleggindustri som varmebestandighet, korrosjonsbestandighet og høy ledningsevne. Innenfor optisk belegg brukes det hovedsakelig i oftalmiske optiske produkter, linser, presisjonsoptikk, belegg med stort område, 3D-belegg og andre aspekter.
Niobmålmaterialet kalles vanligvis et bart mål. Det sveises først til kobber-bakmålet, og deretter sputteres for å avsette niobatomer i form av oksider på substratmaterialet, og oppnå sputtering. Med den kontinuerlige utdypingen og utvidelsen av niobmålteknologi og -anvendelse har kravene til ensartethet av niobmålmikrostruktur økt, hovedsakelig manifestert i tre aspekter: kornstørrelsesforfining, ingen åpenbar teksturorientering og forbedret kjemisk renhet.
Den jevne fordelingen av mikrostruktur og egenskaper gjennom målet er avgjørende for å sikre sputterytelsen til niobmålmaterialer. Overflaten til niob-mål som påtreffes i industriell produksjon, viser vanligvis regelmessige mønstre, som i stor grad påvirker målenes sputteringsytelse. Hvordan kan vi forbedre utnyttelsesgraden av målene?
Gjennom forskning har det blitt funnet at urenhetsinnhold (målrenhet) er en viktig faktor som påvirker renheten. Den kjemiske sammensetningen av råvarene er ujevn, og urenheter berikes. Etter senere valsebehandling dannes vanlige mønstre på overflaten av niobmålmaterialet; Eliminering av ujevn fordeling av råmaterialekomponenter og urenhetsanrikning kan unngå dannelse av vanlige mønstre på overflaten av niobmål. Påvirkningen av kornstørrelse og strukturell sammensetning på målmaterialet kan være nesten ubetydelig.
Innleggstid: 19. juni 2023