På grunn av høy temperaturstabilitet, høy elektronmigrasjonsmotstand og høy elektronemisjonskoeffisient for ildfaste wolfram og wolframlegeringer, brukes høyrente wolfram- og wolframlegeringsmål hovedsakelig for produksjon av portelektroder, tilkoblingsledninger, diffusjonsbarrierelag, etc. av halvledere. integrerte kretser, og har høye krav til renhet, innhold av urenheter, tetthet, kornstørrelse og kornstrukturens ensartethet. materialer. La oss nå ta en titt på faktorene som påvirker utarbeidelsen av høyrent wolframmål.
1、 Effekt av sintringstemperatur
Formingsprosessen til wolfram-målembryoet er vanligvis laget ved kald isostatisk pressing. Wolframkornet vil vokse under sintringsprosessen. Veksten av wolframkornet vil fylle gapet mellom korngrensene, og dermed forbedre tettheten til wolframmålet. Med økningen av sintringstider, avtar økningen av wolframmåltettheten gradvis. Hovedårsaken er at etter flere sintring har ikke kvaliteten på wolframmålet endret seg mye. Fordi de fleste av hulrommene i korngrensen er fylt med wolframkrystaller, har den totale størrelsesendringshastigheten til wolframmålet vært svært liten etter hver sintring, noe som har resultert i begrenset plass for å øke tettheten til wolframmålet. Med sintringsprosessen blir de dyrkede wolframkornene fylt inn i hulrommene, noe som resulterer i en høyere tetthet av målet med mindre partikkelstørrelse.
2、 Effekt av holdetid
Ved samme sintringstemperatur vil kompaktheten til wolframmålet bli forbedret med forlengelsen av sintringsholdetiden. Med forlengelsen av holdetiden vil wolframkornstørrelsen øke, og med forlengelsen av holdetiden vil veksttidene til kornstørrelsen gradvis avta, noe som betyr at å øke holdetiden også kan forbedre ytelsen til wolfram mål.
3、 Effekt av rullering på målegenskaper
For å forbedre tettheten til wolframmålmateriale og oppnå prosesseringsstrukturen til wolframmålmateriale, må middeltemperaturrullingen av wolframmålmateriale utføres under rekrystalliseringstemperaturen. Hvis rulletemperaturen til målemnet er høy, vil fiberstrukturen til målemnet være grovt, og omvendt. Når varmvalsingshastigheten når mer enn 95%. Selv om forskjellen i fiberstruktur forårsaket av forskjellige originale korn eller forskjellige rulletemperaturer vil bli eliminert, vil den indre strukturen til målet danne en relativt jevn fiberstruktur, så jo høyere behandlingshastigheten for varmvalsing er, jo bedre ytelsen til målet
Innleggstid: 15. februar 2023