Sputterede molybdenmål har blitt mye brukt i elektronikkindustrien, solceller, glassbelegg og andre felt på grunn av deres iboende fordeler. Med den raske utviklingen av moderne teknologi innen miniatyrisering, integrasjon, digitalisering og intelligens, vil bruken av molybdenmål fortsette å øke, og kvalitetskravene til dem vil også bli stadig høyere. Så vi må finne måter å forbedre utnyttelsesgraden av molybdenmål. Nå vil redaktøren av RSM introdusere flere metoder for å forbedre utnyttelsesgraden av sputterende molybdenmål for alle
1. Legg til elektromagnetisk spole på baksiden
For å forbedre utnyttelsesgraden til det sputterede molybdenmålet, kan en elektromagnetisk spole legges til på baksiden av det plane Magnetron-forstøvningsmolybdenmålet, og magnetfeltet på overflaten av molybdenmålet kan økes ved å øke strømmen av den elektromagnetiske spolen, for å forbedre utnyttelsesgraden til molybdenmålet.
2. Velg rørformet roterende målmateriale
Sammenlignet med flate mål fremhever valg av en rørformet roterende målstruktur dets vesentlige fordeler. Generelt er utnyttelsesgraden for flate mål bare 30 % til 50 %, mens utnyttelsesgraden for rørformede roterende mål kan nå over 80 %. Videre, når du bruker det roterende hule røret Magnetron-forstøvningsmålet, siden målet kan rotere rundt den faste stangmagnetenheten hele tiden, vil det ikke være noen gjenavsetning på overflaten, så levetiden til det roterende målet er generelt mer enn 5 ganger lengre enn flymålet.
3. Erstatt med nytt sputterutstyr
Nøkkelen til å forbedre utnyttelsesgraden av målmaterialer er å fullføre utskiftingen av sputterutstyr. Under sputteringsprosessen av molybdenforstøvnings-målmateriale, vil omtrent en sjettedel av forstøvningsatomene avsettes på vakuumkammerveggen eller -braketten etter å ha blitt truffet av hydrogenioner, noe som øker kostnadene for rengjøring av vakuumutstyret og nedetiden. Så utskifting av nytt forstøvningsutstyr kan også bidra til å forbedre utnyttelsesgraden til sputterende molybdenmål.
Innleggstid: 24. mai 2023