For tiden er nesten alle high-end ultra-high purity metallkobbermålene som kreves av IC-industrien monopolisert av flere store utenlandske multinasjonale selskaper. Alle de ultrarene kobbermålene som trengs av den innenlandske IC-industrien, må importeres, noe som ikke bare er dyrt, men også komplisert i importprosedyrer. Derfor trenger Kina et presserende behov for å forbedre utviklingen og verifiseringen av kobberforstøvningsmål med ultrahøy renhet (6N). . La oss ta en titt på nøkkelpunktene og vanskelighetene i utviklingen av kobberforstøvningsmål med ultrahøy renhet (6N).
1、Utvikling av materialer med ultra høy renhet
Renseteknologien for høyrente Cu-, Al- og Ta-metaller i Kina er langt fra den i industriland. For tiden kan de fleste av de høyrenhetsmetallene som kan leveres, ikke oppfylle kvalitetskravene til integrerte kretser for sputteringsmål i henhold til de konvensjonelle alle elementanalysemetodene i industrien. Antall inkluderinger i målet er for høyt eller ujevnt fordelt. Det dannes ofte partikler på waferen under sputtering, noe som resulterer i kortslutning eller åpen krets av sammenkoblingen, noe som alvorlig påvirker filmens ytelse.
2、Utvikling av målprepareringsteknologi for kobberforstøvning
Utviklingen av målforberedelsesteknologi for kobberforstøvning fokuserer hovedsakelig på tre aspekter: kornstørrelse, orienteringskontroll og ensartethet. Halvlederindustrien har de høyeste kravene til sputtering av mål og fordamping av råvarer. Den har svært strenge krav til kontroll av overflatekornstørrelsen og krystallorienteringen til målet. Kornstørrelsen til målet må kontrolleres til 100μ M nedenfor er derfor kontrollen av kornstørrelse og midlene for korrelasjonsanalyse og deteksjon svært viktig for utviklingen av metallmål.
3、Utvikling av analyse ogtesting teknologi
Den høye renheten til målet betyr reduksjon av urenheter. Tidligere ble induktivt koblet plasma (ICP) og atomabsorpsjonsspektrometri brukt for å bestemme urenheter, men de siste årene har glødeutladningskvalitetsanalyse (GDMS) med høyere følsomhet gradvis blitt brukt som standard. metode. Resistansforholdet RRR-metoden brukes hovedsakelig for å bestemme elektrisk renhet. Dets bestemmelsesprinsipp er å evaluere renheten til uedelt metall ved å måle graden av elektronisk spredning av urenheter. Fordi det er å måle motstanden ved romtemperatur og svært lav temperatur, er det enkelt å ta tallet. De siste årene, for å utforske essensen av metaller, har forskningen på ultrahøy renhet vært veldig aktiv. I dette tilfellet er RRR-verdi den beste måten å evaluere renheten på.
Innleggstid: mai-06-2022