Sprekker i sputtermål oppstår vanligvis i keramiske sputtermål som oksider, karbider, nitrider og sprø materialer som krom, antimon, vismut. La nå de tekniske ekspertene til RSM forklare hvorfor sputtermålet sprekker og hvilke forebyggende tiltak som kan tas for å unngå denne situasjonen.
Keramiske eller sprø materialmål inneholder alltid iboende spenninger. Disse interne spenningene genereres i målproduksjonsprosessen. I tillegg blir disse spenningene ikke fullstendig eliminert av glødeprosessen, fordi de er iboende egenskaper til disse materialene. I sputterprosessen overfører bombardementet av gassioner deres momentum til målatomene, og gir dem nok energi til å skille dem fra gitteret. Denne eksoterme momentumoverføringen får måltemperaturen til å stige, som kan nå 1000000 ℃ på atomnivå.
Disse termiske sjokkene øker den eksisterende indre spenningen i målet til mange ganger. I dette tilfellet, hvis varmen ikke spres ordentlig, kan målet knekke. For å hindre at målet sprekker, bør varmeavledning vektlegges. En vannkjølingsmekanisme er nødvendig for å fjerne uønsket varmeenergi fra målet. En annen sak å vurdere er økningen i kraft. For mye kraft på kort tid vil også forårsake termisk sjokk på målet. I tillegg foreslår vi å binde disse målene til bakplanet, som ikke bare kan gi støtte til målet, men også fremme bedre varmeveksling mellom målet og vannet. Hvis målet har sprekker, men er festet med bakplaten, kan det fortsatt brukes.
Rich Special Materials Co., Ltd. kan gi sputtermål med bakplan. Den kan tilpasses i henhold til kundenes krav til materiale, tykkelse og bindingstype.
Innleggstid: 21. september 2022