Met de ontwikkeling van industriële technologie wordt de kwaliteit van de doelen die nodig zijn voor industriële productie ook steeds hoger, omdat de kwaliteit van de doelen rechtstreeks van invloed is op de prestaties van magnetronsputterfilms.Tegenwoordig geven bedrijven er over het algemeen de voorkeur aan om doelen met een hoge dichtheid en een uniforme samenstellingsstructuur voor sputtercoating te gebruiken bij de aankoop van doelen, om het meervoudig stikken van doelen te verminderen en de kwaliteit van sputtercoatings te verbeteren. Daarom vereist dit dat de fabrikant van de doelen zich strikt houdt controleer de kwaliteit van het doelwit. Laat nu de redacteur van BeijingRijkmatu inzicht geven in welke factoren de kwaliteit van het doel beïnvloeden.
1、De invloed van procesparameters op de kwaliteit van het doel
Procesparameters omvatten voornamelijk koude persdruk, drukverhogingssnelheid en ontvormsnelheid en andere parameters.Wanneer het doel koud wordt geperst, heeft de druk rechtstreeks invloed op de kwaliteit van de doelblanco;De druksnelheid heeft een grote invloed op de gelaagdheid van de doelplano, en de initiële toestand waarin het poeder gelijkmatig in de negatieve mal wordt gevuld, is een lakse toestand, die veel poriën en gassen heeft, en de afvoer van gassen duurt een periode van tijd.
2、DeInvloed van schimmel op de doelkwaliteit
De mal heeft ook een zekere invloed op de vorming van de doelplano. De belangrijkste beïnvloedende factoren zijn onder meer de oppervlakteafwerking van de binnenkant van de matrijs, de opening tussen de stempel en de matrijsholte, enz. Als de opening te groot is, zal er poeder gaan stromen en poeder gaan lekken, waardoor de marginale dichtheid van de blanco laag en kwaliteitsproblemen zoals het vallen van de rand tijdens het ontvormen.
3、Het effect van het materiaalvochtgehalte op de kwaliteit van het doel
Het vocht in het poeder van het doelmateriaal is gelijkwaardig aan het effect van het smeermiddel, en de aanwezigheid ervan kan de wrijving tussen de deeltjes verminderen, wat bevorderlijk is voor de effectieve overdracht van koude persdruk, en ook bevorderlijk is voor soepel slippen en herschikking tussen de poederdeeltjes.Wanneer het watergehalte echter te klein of te hoog is, heeft dit invloed op de kwaliteit van het doel.
Wanneer het watergehalte in ITO-poeder minder dan 2% bedraagt, zal de kans op kwaliteitsproblemen zoals randverlies en delaminatie van het doelmateriaal aanzienlijk toenemen wanneer andere omstandigheden zoals koude persdruk en bindmiddelgehalte hetzelfde zijn. Wanneer het water Het gehalte aan ITO-poeder is meer dan 10%, onder dezelfde koude persdruk, het bindmiddelgehalte en andere omstandigheden, hoewel de poederdeeltjes gemakkelijker glijden en herschikken, wordt water uit de binnenkant van de mal afgevoerd, wat het probleem van vallen zal veroorzaken randen rond de plano van de doelmateriaal.De resultaten laten zien dat wanneer het watergehalte van het poeder tussen 3% en 6% ligt, de kwaliteit van de blanco effectief wordt gecontroleerd.
4、Effect van het bindmiddelgehalte op de doelkwaliteit
De hoeveelheid opgenomen bindmiddel heeft een grote invloed op de kwaliteit van het doelmateriaal. Wanneer de hoeveelheid opname minder dan 1% bedraagt, zal de doelplano een zeer ernstig kwaliteitsprobleem hebben. Op dit moment wordt het effect van het bindmiddel niet getoond en heeft het weinig effect op het verbeteren van de sterkte van de doelplano. Door de toename van de opname van bindmiddel tot 2% en 3% wordt de sterkte van het doelmateriaal verbeterd en wordt het kwaliteitsprobleem van het doelmateriaal aanzienlijk verminderd. Wanneer het bindmiddel echter tot 4% wordt opgenomen, delamineert het doelmateriaal af en toe tijdens het daaropvolgende ontvormproces, hoewel het kwaliteitsprobleem van de koudgeperste plano van het doelmateriaal verdwijnt.
Posttijd: 22 april 2022