Vuurvaste wolfraammetalen en wolfraamlegeringen hebben de voordelen van hoge temperatuurstabiliteit, hoge weerstand tegen elektronenmigratie en hoge elektronenemissiecoëfficiënt. Doelen van wolfraam en wolfraamlegeringen met een hoge zuiverheid worden voornamelijk gebruikt voor het vervaardigen van poortelektroden, verbindingsbedrading en diffusiebarrièrelagen van geïntegreerde halfgeleidercircuits. Ze stellen zeer hoge eisen aan de zuiverheid, het gehalte aan onzuivere elementen, de dichtheid, de korrelgrootte en de uniforme korrelstructuur van de materialen. Laten we eens kijken naar de factoren die van invloed zijn op de bereiding van wolfraamdoelwit met hoge zuiverheidby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Effect van sintertemperatuur
Het vormingsproces van wolfraamdoelembryo's wordt meestal uitgevoerd door koude isostatische druk. De wolfraamkorrel zal tijdens het sinteren opgroeien. De groei van wolfraamkorrels zal de opening tussen de kristalgrenzen opvullen, waardoor de dichtheid van het wolfraamdoel toeneemt. Met de toename van de sintertijden vertraagt de dichtheidstoename van het wolfraamdoel geleidelijk. De belangrijkste reden is dat de kwaliteit van het wolfraamdoelmateriaal na verschillende sinterprocessen niet veel is veranderd. Omdat de meeste holtes in de kristalgrens worden opgevuld door wolfraamkristallen, is de algehele snelheid van verandering van de grootte van het wolfraamdoel zeer klein na elk sinterproces, wat resulteert in een beperkte ruimte waarin de dichtheid van het wolfraamdoel kan toenemen. Naarmate het sinteren vordert, worden grote wolfraamkorrels in de holtes opgevuld, wat resulteert in een dichter doel met een kleiner formaat.
2. Effect vanheet conserveringstijd
Bij dezelfde sintertemperatuur wordt de compactheid van wolfraamdoelmateriaal verbeterd met de toename van de sintertijd. Met het toenemen van de sintertijd neemt de korrelgrootte van wolfraam toe, en met het verlengen van de sintertijd neemt de groeifactor van de korrelgrootte geleidelijk af. Dit toont aan dat het verlengen van de sintertijd ook de prestaties van wolfraamdoelen kan verbeteren.
3. Effect van rollen op doel Pprestatie
Om de dichtheid van wolfraam-doelmaterialen te verbeteren en de verwerkingsstructuur van wolfraam-doelmaterialen te verkrijgen, moet het walsen van wolfraam-doelmaterialen op gemiddelde temperatuur worden uitgevoerd onder de herkristallisatietemperatuur. Wanneer de walstemperatuur van het doelplano hoog is, is de vezelstructuur van het doelplano dikker, terwijl die van het doelplano fijner is. Wanneer het warmwalsrendement hoger is dan 95%. Hoewel het verschil in vezelstructuur veroorzaakt door verschillende originele sinterkorrels of walstemperaturen zal worden geëlimineerd, zal er een meer homogene vezelstructuur binnen het doel worden gevormd, dus hoe hoger de verwerkingssnelheid van warm walsen, hoe beter de prestaties van het doel.
Posttijd: 05 mei 2022