Welkom op onze websites!

Sputterdoelen met bordbinding

Bindend bordproces:

 

1. Wat is bindend bindend? Het verwijst naar het gebruik van soldeer om het doelmateriaal aan het achterste doel te lassen. Er zijn drie hoofdmethoden: krimpen, hardsolderen en geleidende lijm. Doelbinding wordt gewoonlijk gebruikt voor hardsolderen, en hardsoldeermaterialen omvatten gewoonlijk In, Sn en In Sn. Wanneer zachte hardsoldeermaterialen worden gebruikt, moet het sputtervermogen doorgaans minder dan 20 W/cm2 bedragen.

 

2. Waarom binden 1. Voorkom ongelijkmatige fragmentatie van doelmaterialen tijdens verwarming, zoals broze doelen zoals ITO, SiO2, keramiek en gesinterde doelen; 2. Bespaar * * * en voorkom vervorming. Als het doelmateriaal te duur is, kan het dunner worden gemaakt en aan het achterste doel worden gebonden om vervorming te voorkomen.

 

3. Selectie van het achterdoel: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. gebruikt gewoonlijk zuurstofvrij koper met een goede geleidbaarheid, en de thermische geleidbaarheid van zuurstofvrij koper is beter dan die van rood koper; 2. De dikte is middelmatig en het wordt over het algemeen aanbevolen om een ​​backtarget-dikte van ongeveer 3 mm te hebben. Te dik, wat enige magnetische kracht kost; Te dun, gemakkelijk te vervormen.

 

4. Bindproces 1. Behandel het oppervlak van het doelmateriaal en het achterste doelmateriaal voor voordat u het bindt. 2. Plaats het doelmateriaal en het achterste doel op een soldeerplatform en verhoog de temperatuur tot de bindingstemperatuur. 3. Metalliseer het doelmateriaal en het achterdoel. 4. Verbind het doelmateriaal en het achterdoel. 5. Koelen en nabewerken.

 

5. Voorzorgsmaatregelen voor het gebruik van gebonden doelen: 1. De sputtertemperatuur mag niet te hoog zijn. 2. De stroom moet langzaam worden verhoogd. 3. Het circulerende koelwater moet lager zijn dan 35 graden Celsius. 4. Geschikte doeldichtheid

 

6. De reden voor het losmaken van de achterplaat is dat de sputtertemperatuur hoog is en dat het achterste doel gevoelig is voor oxidatie en kromtrekken. Het doelmateriaal zal barsten tijdens sputteren bij hoge temperaturen, waardoor het achterste doel losraakt; 2. De stroom is te hoog en de warmtegeleiding is te snel, waardoor de temperatuur te hoog is en het soldeer smelt, wat resulteert in ongelijkmatig soldeer en loskomen van het achterste doel; 3. De temperatuur van de uitlaat van het circulerende koelwater moet lager zijn dan 35 graden Celsius, en de hoge temperatuur van het circulerende water kan een slechte warmteafvoer en onthechting veroorzaken; 4. De dichtheid van het doelmateriaal zelf: wanneer de dichtheid van het doelmateriaal zeer hoog is, is het niet gemakkelijk te adsorberen, zijn er geen gaten en valt het achterste doel gemakkelijk af.


Posttijd: 12 oktober 2023