Niobium-doelmaterialen worden voornamelijk gebruikt in optische coating, coating van oppervlaktetechniek en coatingindustrieën zoals hittebestendigheid, corrosieweerstand en hoge geleidbaarheid. Op het gebied van optische coating wordt het voornamelijk toegepast in oogheelkundige optische producten, lenzen, precisie-optica, coating met groot oppervlak, 3D-coating en andere aspecten.
Het niobium-doelmateriaal wordt gewoonlijk een kaal doelwit genoemd. Het wordt eerst aan het koperen achterdoel gelast en vervolgens gesputterd om niobiumatomen in de vorm van oxiden op het substraatmateriaal af te zetten, waardoor een sputtercoating wordt bereikt. Met de voortdurende verdieping en uitbreiding van de niobium-doeltechnologie en -toepassing zijn de eisen voor de uniformiteit van de niobium-doelmicrostructuur toegenomen, voornamelijk tot uiting in drie aspecten: verfijning van de korrelgrootte, geen duidelijke textuuroriëntatie en verbeterde chemische zuiverheid.
De uniforme verdeling van de microstructuur en eigenschappen door het hele doel is cruciaal voor het garanderen van de sputterprestaties van niobium-doelmaterialen. Het oppervlak van niobium-doelen die bij de industriële productie worden aangetroffen, vertoont gewoonlijk regelmatige patronen, die de sputterprestaties van de doelen sterk beïnvloeden. Hoe kunnen we de benuttingsgraad van de doelstellingen verbeteren?
Uit onderzoek is gebleken dat het gehalte aan onzuiverheden (doelzuiverheid) een belangrijke factor is die de zuiverheid beïnvloedt. De chemische samenstelling van de grondstoffen is ongelijkmatig en de onzuiverheden zijn verrijkt. Na latere walsverwerking worden regelmatige patronen gevormd op het oppervlak van het niobium-doelmateriaal; Het elimineren van een ongelijke verdeling van grondstoffencomponenten en de verrijking van onzuiverheden kan de vorming van regelmatige patronen op het oppervlak van niobiumdoelen voorkomen. De invloed van korrelgrootte en structurele samenstelling op het doelmateriaal kan vrijwel verwaarloosbaar zijn.
Posttijd: 19 juni 2023