Vanwege de hoge temperatuurstabiliteit, de hoge weerstand tegen elektronenmigratie en de hoge elektronenemissiecoëfficiënt van vuurvast wolfraam en wolfraamlegeringen, worden doelen van wolfraam en wolfraamlegeringen met hoge zuiverheid voornamelijk gebruikt voor de productie van poortelektroden, verbindingsbedrading, diffusiebarrièrelagen, enz. van halfgeleiders. geïntegreerde schakelingen, en stellen hoge eisen aan de zuiverheid, het gehalte aan onzuiverheidselementen, de dichtheid, de korrelgrootte en de uniformiteit van de korrelstructuur van materialen. Laten we nu eens kijken naar de factoren die van invloed zijn op de bereiding van hoogzuiver wolfraamdoelwit.
1, Effect van sintertemperatuur
Het vormingsproces van het wolfraam-doelembryo wordt doorgaans uitgevoerd door koud isostatisch persen. De wolfraamkorrel zal tijdens het sinterproces groeien. De groei van de wolfraamkorrel zal de opening tussen de korrelgrenzen opvullen, waardoor de dichtheid van het wolfraamdoel wordt verbeterd. Met de toename van de sintertijden vertraagt de toename van de doeldichtheid van wolfraam geleidelijk. De belangrijkste reden is dat na meerdere sinteringen de kwaliteit van het wolfraamdoel niet veel is veranderd. Omdat de meeste holtes in de korrelgrens zijn gevuld met wolfraamkristallen, is de totale snelheid waarmee de grootte van het wolfraamdoel verandert na elke sintering zeer klein, wat resulteert in een beperkte ruimte waarin de dichtheid van het wolfraamdoel kan toenemen. Met het sinterproces worden de gegroeide wolfraamkorrels in de holtes opgevuld, wat resulteert in een hogere dichtheid van het doel met een kleinere deeltjesgrootte.
2, Effect van vasthoudtijd
Bij dezelfde sintertemperatuur zal de compactheid van het wolfraamdoel worden verbeterd met de verlenging van de sintervasthoudtijd. Met de verlenging van de houdtijd zal de korrelgrootte van wolfraam toenemen, en met de verlenging van de houdtijd zullen de groeitijden van de korrelgrootte geleidelijk vertragen, wat betekent dat het vergroten van de houdtijd ook de prestaties van de wolfraam kan verbeteren. wolfraam doelwit.
3. Effect van rollen op doeleigenschappen
Om de dichtheid van wolfraam-doelmateriaal te verbeteren en de verwerkingsstructuur van wolfraam-doelmateriaal te verkrijgen, moet het walsen van wolfraam-doelmateriaal bij gemiddelde temperatuur worden uitgevoerd onder de herkristallisatietemperatuur. Als de walstemperatuur van de doelstaaf hoog is, zal de vezelstructuur van de doelstaaf grof zijn, en omgekeerd. Wanneer de warme walssnelheid meer dan 95% bereikt. Hoewel het verschil in vezelstructuur veroorzaakt door verschillende originele korrels of verschillende walstemperaturen zal worden geëlimineerd, zal de interne structuur van het doel een relatief uniforme vezelstructuur vormen, dus hoe hoger de verwerkingssnelheid van warm walsen, hoe beter de prestaties van het doel.
Posttijd: 15 februari 2023