स्पटरिङ लक्ष्यहरू के हो? लक्ष्य किन यति महत्त्वपूर्ण छ?

सेमीकन्डक्टर उद्योगले प्राय: लक्षित सामग्रीहरूको लागि शब्द देख्छ, जुन वेफर सामग्री र प्याकेजिङ्ग सामग्रीहरूमा विभाजित गर्न सकिन्छ। प्याकेजिङ सामग्रीहरूमा वेफर निर्माण सामग्रीको तुलनामा अपेक्षाकृत कम प्राविधिक अवरोधहरू छन्। वेफर्सको उत्पादन प्रक्रियामा मुख्यतया 7 प्रकारका सेमीकन्डक्टर सामग्री र रसायनहरू समावेश हुन्छन्, जसमा एक प्रकारको स्पटरिङ लक्ष्य सामग्री समावेश हुन्छ। त्यसोभए लक्ष्य सामग्री के हो? लक्ष्य सामग्री किन यति महत्त्वपूर्ण छ? आज हामी लक्ष्य सामग्री के हो भन्ने बारे कुरा गर्नेछौं!

लक्ष्य सामग्री के हो?

सरल भाषामा भन्नुपर्दा, लक्षित सामग्री भनेको उच्च-गति चार्ज गरिएका कणहरूद्वारा बमबारी गरिएको लक्ष्य सामग्री हो। विभिन्न लक्षित सामग्रीहरू (जस्तै एल्युमिनियम, तामा, स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम, निकेल लक्ष्यहरू, आदि) प्रतिस्थापन गरेर, विभिन्न फिल्म प्रणालीहरू (जस्तै सुपरहार्ड, पहिरन-प्रतिरोधी, एन्टी-क्रोसन मिश्र धातु फिल्महरू, आदि) प्राप्त गर्न सकिन्छ।

हाल, (शुद्धता) स्पटरिंग लक्ष्य सामग्रीहरू विभाजित गर्न सकिन्छ:

1) धातु लक्ष्यहरू (शुद्ध धातु एल्युमिनियम, टाइटेनियम, तामा, ट्यान्टलम, आदि)

2) मिश्र धातु लक्ष्यहरू (निकेल क्रोमियम मिश्र धातु, निकल कोबाल्ट मिश्र धातु, आदि)

3) सिरेमिक यौगिक लक्ष्य (अक्साइड, सिलिसाइड, कार्बाइड, सल्फाइड, आदि)।

विभिन्न स्विचहरू अनुसार, यसलाई विभाजित गर्न सकिन्छ: लामो लक्ष्य, वर्ग लक्ष्य, र गोलाकार लक्ष्य।

विभिन्न अनुप्रयोग क्षेत्रहरू अनुसार, यसलाई विभाजित गर्न सकिन्छ: अर्धचालक चिप लक्ष्यहरू, फ्ल्याट प्यानल प्रदर्शन लक्ष्यहरू, सौर सेल लक्ष्यहरू, सूचना भण्डारण लक्ष्यहरू, परिमार्जित लक्ष्यहरू, इलेक्ट्रोनिक उपकरण लक्ष्यहरू, र अन्य लक्ष्यहरू।

यसलाई हेरेर, तपाईंले उच्च-शुद्धता स्पटरिङ लक्ष्यहरू, साथै धातु लक्ष्यहरूमा प्रयोग हुने एल्युमिनियम, टाइटेनियम, तामा, र ट्यान्टलमको बुझाइ प्राप्त गरेको हुनुपर्छ। अर्धचालक वेफर निर्माणमा, एल्युमिनियम प्रक्रिया सामान्यतया 200mm (8 इन्च) र तल वेफरहरू निर्माणको लागि मुख्य विधि हो, र लक्षित सामग्रीहरू मुख्य रूपमा एल्युमिनियम र टाइटेनियम तत्वहरू हुन्। 300mm (12 इन्च) वेफर निर्माण, अधिकतर उन्नत तामा इन्टरकनेक्सन टेक्नोलोजी प्रयोग गरी, मुख्यतया तामा र ट्यान्टलम लक्ष्यहरू प्रयोग गरेर।

लक्ष्य सामग्री के हो भन्ने सबैले बुझ्नुपर्छ। समग्रमा, चिप एप्लिकेसनहरूको बढ्दो दायरा र चिप बजारमा बढ्दो मागको साथ, उद्योगमा चार मुख्यधारा पातलो फिल्म मेटल सामग्री, एल्युमिनियम, टाइटेनियम, ट्यान्टालम, र तामाको मागमा निश्चित रूपमा वृद्धि हुनेछ। र हाल, यी चार पातलो फिल्म धातु सामग्रीहरू प्रतिस्थापन गर्न सक्ने कुनै अन्य समाधान छैन।