अब अधिक र अधिक प्रयोगकर्ताहरूले लक्ष्य को प्रकार बुझ्छन् रयसको अनुप्रयोगहरू, तर यसको उपविभाजन धेरै स्पष्ट नहुन सक्छ। अब गरौंRSM इन्जिनियर तपाईंसँग साझेदारी गर्नुहोस्केहि प्रेरणा म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ लक्ष्यहरूको.
स्पटरिङ लक्ष्य: धातु स्पटरिंग कोटिंग लक्ष्य, मिश्र धातु स्पटरिंग कोटिंग लक्ष्य, सिरेमिक स्पटरिंग कोटिंग लक्ष्य, बोराइड सिरेमिक स्पटरिंग लक्ष्य, कार्बाइड सिरेमिक स्पटरिंग लक्ष्य, फ्लोराइड सिरेमिक स्पटरिंग लक्ष्य, नाइट्राइड सिरेमिक स्पटरिंग लक्ष्य, अक्साइड सिरेमिक सिरेमिक लक्ष्य, सेलेनाइड स्पटरिंग लक्ष्य लक्ष्य, सल्फाइड सिरेमिक स्पटरिङ लक्ष्य, टेलुराइड सिरेमिक स्पटरिङ लक्ष्य, अन्य सिरेमिक लक्ष्यहरू, क्रोमियम डोपेड सिलिकन अक्साइड सिरेमिक लक्ष्य (CR SiO), इन्डियम फस्फाइड लक्ष्य (INP), लीड आर्सेनाइड लक्ष्य (pbas), इन्डियम आर्सेनाइड लक्ष्य (InAs)।
म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ सामान्यतया दुई प्रकारमा विभाजित हुन्छ: डीसी स्पटरिङ र आरएफ स्पटरिङ। DC sputtering उपकरण को सिद्धान्त सरल छ, र धातु sputtering गर्दा यसको दर पनि छिटो छ। आरएफ स्पटरिंग व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। प्रवाहकीय डेटा स्पटरिंगको अतिरिक्त, यसले गैर-संवाहक डेटा पनि स्पटर गर्न सक्छ। अक्साइड, नाइट्राइड र कार्बाइड जस्ता यौगिक डेटा तयार गर्नको लागि स्पटरिङ लक्ष्य पनि प्रतिक्रियात्मक स्पटरिङको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ। यदि आरएफ फ्रिक्वेन्सी बढ्छ भने, यो माइक्रोवेभ प्लाज्मा स्पटरिङ हुनेछ। वर्तमानमा, इलेक्ट्रोन साइक्लोट्रोन अनुनाद (ECR) माइक्रोवेव प्लाज्मा स्पटरिंग सामान्यतया प्रयोग गरिन्छ।
पोस्ट समय: मई-26-2022