मिश्र धातु लक्ष्यहरूको लागि सावधानीहरू

1, स्पटरिङ तयारी

भ्याकुम च्याम्बर, विशेष गरी स्पटरिङ सिस्टम सफा राख्न धेरै महत्त्वपूर्ण छ। स्नेहन तेल, धुलो र अघिल्लो कोटिंगबाट बनेको कुनै पनि अवशेषले पानीको वाष्प र अन्य प्रदूषकहरू जम्मा गर्नेछ, जसले भ्याकुम डिग्रीलाई सीधै असर गर्छ र फिल्म निर्माण असफल हुने सम्भावना बढाउँछ। सर्ट सर्किट वा टारगेट आर्किङ, रफ फिलिम सतह र अत्यधिक रासायनिक अशुद्धता सामग्री प्रायः अशुद्ध थुक्ने चेम्बर, स्पटरिङ गन र लक्ष्यको कारणले हुन्छ। कोटिंग को संरचना विशेषताहरु पालन गर्न को लागी, यो sputtering ग्यास (आर्गन वा अक्सिजन) सफा र सुकाउन आवश्यक छ। स्पटरिङ च्याम्बरमा सब्सट्रेट स्थापना भएपछि, प्रक्रियाद्वारा आवश्यक भ्याकुममा पुग्न हावा निकाल्न आवश्यक छ। अँध्यारो क्षेत्र, गुफा पर्खाल र छेउछाउको सतहमा ढालको आवरण पनि सफा राख्नुपर्छ। भ्याकुम च्याम्बर सफा गर्दा, हामी धुलो भागहरू उपचार गर्न गिलास बल शट ब्लास्टिङ प्रयोग गरेर चेम्बरको वरिपरि प्रारम्भिक थुक्ने अवशेषहरू हटाउन कम्प्रेस्ड हावाको साथ, र त्यसपछि चुपचाप एल्युमिना इम्प्रेग्नेटेड स्यान्डपेपरले बाहिरी सतहलाई पालिश गर्ने वकालत गर्छौं। गज पेपरलाई पालिस गरेपछि, यसलाई अल्कोहल, एसीटोन र डियोनाइज्ड पानीले सफा गरिन्छ। सँगै, यसले सहायक सफाईको लागि औद्योगिक भ्याकुम क्लीनरको प्रयोगको वकालत गर्दछ। Gaozhan धातु द्वारा उत्पादित लक्ष्य भ्याकुम सील प्लास्टिक झोला मा प्याक गरिएको छ,

नमी-प्रूफ एजेन्टमा निर्मित। लक्ष्य प्रयोग गर्दा, कृपया आफ्नो हातले लक्ष्यलाई सीधै नछुनुहोस्। नोट: लक्ष्य प्रयोग गर्दा, कृपया सफा र लिन्ट फ्री मर्मतसम्भार पन्जा लगाउनुहोस्। आफ्नो हातले सिधै लक्ष्यलाई कहिल्यै नछुनुहोस्

2, लक्ष्य सफाई

लक्ष्य सफाईको उद्देश्य लक्ष्यको सतहमा रहेको धुलो वा फोहोर हटाउनु हो।

धातु लक्ष्य चार चरणहरूमा सफा गर्न सकिन्छ,

पहिलो चरण एसीटोनमा भिजेको लिन्ट फ्री नरम कपडाले सफा गर्नु हो;

दोस्रो चरण पहिलो चरण जस्तै छ, रक्सी संग सफाई;

चरण 3: डियोनाइज्ड पानीले सफा गर्नुहोस्। डियोनाइज्ड पानीले धोएपछि, लक्ष्यलाई ओभनमा राख्नुहोस् र यसलाई 100 डिग्री सेल्सियसमा 30 मिनेटको लागि सुकाउनुहोस्।

अक्साइड र सिरेमिक लक्ष्यहरूको सफाई "लिन्ट फ्री कपडा" द्वारा गरिन्छ।

चौथो चरण धुलो भएको क्षेत्र हटाएपछि उच्च चाप र कम पानीको ग्यासले आर्गनले टार्गेट धुनु हो, ताकि स्पटरिङ प्रणालीमा चाप बन्न सक्ने सबै अशुद्धता कणहरू हटाउन सकिन्छ।

3, लक्ष्य उपकरण

लक्ष्य स्थापनाको प्रक्रियामा, Z महत्त्वपूर्ण सावधानीहरू लक्ष्य र स्पटरिंग बन्दुकको चिसो पर्खाल बीच राम्रो थर्मल प्रवाह जडान सुनिश्चित गर्न हो। यदि कूलिंग स्टभको वारपेज गम्भीर छ वा पछाडिको प्लेटको वारपेज गम्भीर छ भने, लक्षित उपकरण क्र्याक वा झुक्नेछ, र पछाडिको लक्ष्यबाट लक्ष्यमा थर्मल चालकता धेरै प्रभावित हुनेछ, जसको परिणामस्वरूप तातो अपव्यय असफल हुन्छ। स्पटरिङ प्रक्रियामा, र लक्ष्य क्र्याक वा मिस हुनेछ

थर्मल चालकता सुनिश्चित गर्न को लागी, ग्रेफाइट पेपर को एक तह क्याथोड कूलिंग पर्खाल र लक्ष्य बीच प्याड गर्न सकिन्छ। कृपया ध्यान दिएर जाँच गर्नुहोस् र ओ-रिंग सधैं ठाउँमा छ भनी सुनिश्चित गर्न प्रयोग गरिएको स्पटरिङ बन्दुकको चिसो पर्खालको समतलता स्पष्ट गर्नुहोस्।

क्याथोड कुलिङ वाटर ट्याङ्कीमा प्रयोग गरिने चिसो पानीको सरसफाई र उपकरण सञ्चालनको क्रममा हुन सक्ने धुलो जम्मा हुने भएकाले क्याथोड कुलिङ वाटर ट्याङ्कीलाई चिल्लो बनाउन लक्ष्य स्थापना गर्दा जाँच गरी सफा गर्नु आवश्यक हुन्छ। चिसो पानीको परिसंचरण र कि इनलेट र आउटलेट अवरुद्ध हुनेछैन।

केहि क्याथोडहरूमा एनोडसँग सानो ठाउँ हुने योजना बनाइएको छ, त्यसैले लक्ष्य स्थापना गर्दा, क्याथोड र एनोड बीच कुनै स्पर्श वा कन्डक्टर छैन भनेर सुनिश्चित गर्न आवश्यक छ, अन्यथा सर्ट सर्किट हुनेछ।

लक्ष्यलाई सही तरिकाले कसरी सञ्चालन गर्ने भन्ने जानकारीको लागि उपकरण अपरेटरको म्यानुअल हेर्नुहोस्। यदि प्रयोगकर्ता पुस्तिकामा त्यस्तो कुनै जानकारी छैन भने, कृपया Gaozhan धातु द्वारा प्रदान गरिएको सान्दर्भिक सुझावहरू अनुसार उपकरण स्थापना गर्न प्रयास गर्नुहोस्। लक्ष्य फिक्स्चर कस्दा, पहिले हातले एउटा बोल्ट कस्नुहोस्, र त्यसपछि हातले विकर्णमा अर्को बोल्ट कस्नुहोस्। यन्त्रमा भएका सबै बोल्टहरू कडा नभएसम्म यसलाई दोहोर्याउनुहोस्, र त्यसपछि केहिसँग कस्नुहोस्।

4, सर्ट सर्किट र तंगता निरीक्षण

लक्ष्य उपकरणको पूरा भएपछि, यो सर्ट सर्किट र सम्पूर्ण क्याथोड को कसरि जाँच गर्न आवश्यक छ,

प्रतिरोधी मिटर प्रयोग गरेर क्याथोडमा सर्ट सर्किट छ कि छैन भनेर निर्धारण गर्न प्रस्ताव गरिएको छ।

पङ्क्ति भेदभाव। क्याथोडमा कुनै सर्ट सर्किट छैन भनेर पुष्टि गरेपछि, चुहावट पत्ता लगाउन सकिन्छ, र पानी चुहावट छ कि छैन भनेर पुष्टि गर्न क्याथोडमा पानी भित्र्याउन सकिन्छ।

5, टार्गेट पूर्व स्पटरिंग

लक्ष्य पूर्व स्पटरिङले शुद्ध आर्गन स्पटरिङको वकालत गर्दछ, जसले लक्ष्यको सतह सफा गर्न सक्छ। जब लक्ष्य पूर्व स्पटर गरिएको छ, यो बिस्तारै स्पटरिंग शक्ति बढाउनको लागि वकालत गरिन्छ, र सिरेमिक लक्ष्यको शक्ति वृद्धि दर 1.5WH / cm2 हो। धातु लक्ष्य को पूर्व स्पटरिंग गति सिरेमिक लक्ष्य ब्लक भन्दा बढी हुन सक्छ, र एक उचित शक्ति वृद्धि दर 1.5WH / cm2 छ।

प्रि-स्पटरिङको प्रक्रियामा, हामीले लक्ष्यको आर्किङ जाँच गर्न आवश्यक छ। पूर्व स्पटरिङ समय सामान्यतया लगभग 10 मिनेट हो। यदि त्यहाँ कुनै arcing घटना छैन भने, लगातार sputtering शक्ति बढाउनुहोस्

सेट शक्ति को लागी। अनुभव अनुसार, धातु लक्ष्य को स्वीकार्य Z उच्च sputtering शक्ति छ

25watts / cm2, 10watts / cm2 सिरेमिक लक्ष्यको लागि। कृपया प्रयोगकर्ताको प्रणाली अपरेशन म्यानुअलमा स्पटरिङको बेला भ्याकुम चेम्बर प्रेसरको सेटिङ आधार र अनुभवलाई सन्दर्भ गर्नुहोस्। सामान्यतया, यो सुनिश्चित गर्नुपर्दछ कि चिसो पानीको आउटलेटमा पानीको तापक्रम 35 ℃ भन्दा कम हुनुपर्छ, तर Z यो सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण छ कि चिसो पानीको परिसंचरण प्रणालीले प्रभावकारी रूपमा काम गर्न सक्छ।

सुपर कूलिङ पानीको द्रुत परिसंचरणले तातो हटाउँछ, जुन उच्च शक्तिको साथ निरन्तर थुक्ने सुनिश्चित गर्न महत्त्वपूर्ण ग्यारेन्टी हो। धातु लक्ष्यहरूको लागि, यो सामान्यतया वकालत गरिन्छ कि चिसो पानी प्रवाह हो

20lpm पानीको दबाब लगभग 5gmp छ; सिरेमिक लक्ष्यहरूको लागि, यो सामान्यतया वकालत गरिन्छ कि पानीको प्रवाह 30lpm छ र पानीको चाप लगभग 9gmp छ।

6, लक्ष्य रखरखाव

स्पटरिङ प्रक्रियामा अशुद्ध गुहाको कारणले सर्ट सर्किट र आर्किङ रोक्नको लागि, यो थुकने ट्र्याकको बीचमा र दुबै छेउमा जम्मा भएको थुकलाई चरणहरूमा हटाउन आवश्यक छ,

यसले प्रयोगकर्ताहरूलाई z उच्च शक्ति घनत्वमा लगातार थुक्न मद्दत गर्दछ

7, लक्ष्य भण्डारण

Gaozhan धातु द्वारा प्रदान लक्ष्यहरू डबल-तह भ्याकुम प्लास्टिक झोला मा प्याकेज छन्। हामी प्रयोगकर्ताहरूले भ्याकुम प्याकेजिङ्गमा धातु वा सिरेमिक, लक्ष्यहरू राख्ने वकालत गर्छौं। विशेष गरी, बन्धन लक्ष्यहरू भ्याकुम अवस्थाहरूमा भण्डारण गर्न आवश्यक छ बन्धन तहको अक्सीकरणलाई बन्धन गुणस्तरलाई असर गर्नबाट रोक्न। धातु लक्ष्यहरूको प्याकेजिङको सन्दर्भमा, हामी Z लाई सफा प्लास्टिकको झोलामा प्याकेज गरिनुपर्छ भनेर वकालत गर्छौं