अल्ट्रा उच्च शुद्धता एल्युमिनियम स्पटरिङ लक्ष्यहरूको विशेषताहरू

हालका वर्षहरूमा, एकीकृत सर्किट (आईसी) प्रविधिको प्रगतिको साथ, एकीकृत सर्किटहरूको सम्बन्धित अनुप्रयोगहरू द्रुत रूपमा विकसित भएका छन्। अल्ट्रा उच्च शुद्धता एल्युमिनियम मिश्र धातु स्पटरिंग लक्ष्य, एकीकृत सर्किट मेटल इन्टरकनेक्ट्स को निर्माण मा एक समर्थन सामाग्री को रूप मा, हालको घरेलू अनुसन्धान मा एक तातो विषय भएको छ। RSM को सम्पादकले हामीलाई उच्च शुद्धता एल्युमिनियम मिश्र धातु स्पटरिङ लक्ष्यको विशेषताहरू देखाउनेछ।

म्याग्नेट्रोन स्पटरिङ लक्ष्यको स्पटरिङ दक्षतालाई अझ सुधार गर्न र जम्मा गरिएका फिल्महरूको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न, धेरै संख्यामा प्रयोगहरूले अल्ट्रा-उच्च शुद्धता एल्युमिनियम मिश्र धातु स्पटरिङ लक्ष्यको संरचना, माइक्रोस्ट्रक्चर र ग्रेन अभिमुखीकरणका लागि निश्चित आवश्यकताहरू छन् भनेर देखाउँछ।

लक्ष्यको अन्नको आकार र अन्न अभिमुखीकरणले IC फिल्महरूको तयारी र गुणहरूमा ठूलो प्रभाव पार्छ। नतिजाहरूले देखाउँछन् कि भण्डारण दर अनाजको आकारको वृद्धिसँगै घट्छ; एउटै संरचनाको साथ स्पटरिङ लक्ष्यको लागि, सानो दाना आकारको लक्ष्यको स्पटरिङ दर ठूलो अन्नको आकारको लक्ष्यको भन्दा छिटो हुन्छ; लक्ष्यको दानाको आकार जति समान हुन्छ, जम्मा गरिएका फिल्महरूको मोटाई वितरण पनि त्यति नै समान हुन्छ।

एउटै स्पटरिङ इन्स्ट्रुमेन्ट र प्रक्रिया प्यारामिटरहरू अन्तर्गत, Al Cu मिश्र धातु लक्ष्यको स्पटरिङ दर परमाणु घनत्वको वृद्धिसँग बढ्छ, तर यो सामान्यतया दायरामा स्थिर हुन्छ। थुक्ने दरमा अनाजको आकारको प्रभाव अनाजको आकारको परिवर्तनको साथ परमाणु घनत्वको परिवर्तनको कारण हो; निक्षेप दर मुख्यतया अल Cu मिश्र धातु लक्ष्य को अन्न अभिविन्यास द्वारा प्रभावित छ। (२००) क्रिस्टल प्लेनहरूको अनुपात सुनिश्चित गर्ने आधारमा, (१११), (२२०) र (३११) क्रिस्टल प्लेनहरूको अनुपातमा वृद्धिले निक्षेप दर बढ्नेछ।

अल्ट्रा-उच्च शुद्धता एल्युमिनियम मिश्र धातु लक्ष्यहरूको अनाज आकार र अन्न अभिविन्यास मुख्यतया इन्गट होमोजेनाइजेसन, तातो कार्य र पुन: पुन: स्थापना एनेलिङ द्वारा समायोजित र नियन्त्रण गरिन्छ। 20.32cm (8in) र 30.48cm (12in) मा वेफर साइजको विकासको साथ, लक्ष्य आकार पनि बढ्दै गएको छ, जसले अल्ट्रा-उच्च शुद्धता एल्युमिनियम मिश्र धातु स्पटरिङ लक्ष्यहरूको लागि उच्च आवश्यकताहरू राख्छ। फिल्मको गुणस्तर र उपज सुनिश्चित गर्नको लागि, लक्ष्य प्रशोधन मापदण्डहरूलाई लक्षित माइक्रोस्ट्रक्चर एकसमान बनाउनको लागि कडा रूपमा नियन्त्रण गरिनु पर्छ र अन्न अभिमुखीकरण बलियो (200) र (220) प्लेन बनावट हुनुपर्छ।