Tungsten Silicide အပိုင်းများ

Tungsten silicide WSi2 ကို မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်ပစ္စည်းများတွင် လျှပ်စစ်ရှော့ခ်ဖြစ်စေသော ပစ္စည်းတစ်ခုအနေဖြင့်၊ ပိုလီဆီလီကွန်ဝိုင်ယာများကို ဖယ်ထုတ်ခြင်း၊ ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်အလွှာနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဝါယာကြိုးများ အပေါ်ယံပိုင်းအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ Tungsten silicide ကို ခံနိုင်ရည် 60-80μΩcm ဖြင့် microelectronics တွင် ထိတွေ့ပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ ၎င်းကို 1000°C တွင်ဖွဲ့စည်းသည်။ ၎င်း၏ conductivity ကိုတိုးမြှင့်ရန်နှင့် signal ကိုမြန်နှုန်းတိုးမြှင့်ရန်အတွက် polysilicon လိုင်းများအတွက် shunt အဖြစ်အသုံးပြုသည်။ tungsten Silicide အလွှာကို အခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်းကဲ့သို့သော ဓာတုအခိုးအငွေ့များ စုပုံခြင်းဖြင့် ပြင်ဆင်နိုင်သည်။ ကုန်ကြမ်းဓာတ်ငွေ့အဖြစ် monosilane သို့မဟုတ် dichlorosilane နှင့် tungsten hexafluoride ကိုသုံးပါ။ အပ်နှံထားသောရုပ်ရှင်သည် stoichiometric မဟုတ်သောကြောင့် annealing ကိုပိုမိုလျှပ်ကူးနိုင်သော stoichiometric ပုံစံသို့ပြောင်းလဲရန်လိုအပ်သည်။

Tungsten silicide သည် အစောပိုင်း တန်စတင်ဖလင်ကို အစားထိုးနိုင်သည်။ Tungsten silicide ကို ဆီလီကွန်နှင့် အခြားသတ္တုများကြား အတားအဆီးအဖြစ်လည်း အသုံးပြုသည်။

Tungsten silicide သည် microelectromechanical စနစ်များတွင်လည်း အလွန်တန်ဖိုးရှိပြီး အဖြိုက်နက်ဆေးကို microcircuits ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် ပါးလွှာသောဖလင်အဖြစ် အဓိကအသုံးပြုပါသည်။ ဤရည်ရွယ်ချက်အတွက်၊ ဥပမာအားဖြင့်၊ silicide ကို အသုံးပြု၍ ပလာစမာကို ထွင်းထုနိုင်သည်။

ကြွယ်ဝသောအထူးပစ္စည်းများသည် Sputtering ပစ်မှတ်ထုတ်လုပ်ခြင်းတွင်အထူးပြုပြီး Tungsten Silicide ကိုထုတ်လုပ်နိုင်သည်အပိုင်းပိုင်းဖောက်သည်များ၏သတ်မှတ်ချက်များအတိုင်း။ ပိုမိုသိရှိလိုပါက ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။