ပစ်မှတ်သည် ကျယ်ပြန့်သောစျေးကွက်၊ အသုံးချဧရိယာနှင့် အနာဂတ်တွင် ကြီးမားသောဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုရှိသည်။ ပစ်မှတ်လုပ်ဆောင်ချက်များကို သင့်အား ပိုမိုနားလည်သဘောပေါက်စေရန်အတွက်၊ ဤနေရာတွင် RSM အင်ဂျင်နီယာသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုလိုအပ်ချက်များကို အကျဉ်းချုံးမိတ်ဆက်ပေးပါမည်။
သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ခြင်း- သန့်စင်မှုသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာ ညွှန်ကိန်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ပစ်မှတ်၏ သန့်ရှင်းမှုသည် ရုပ်ရှင်၏လုပ်ဆောင်ချက်အပေါ် ကြီးမားသောအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့်ဖြစ်သည်။ သို့သော် လက်တွေ့အသုံးချမှုတွင် ပစ်မှတ်၏ သန့်စင်မှုလိုအပ်ချက်များသည်လည်း ကွဲပြားပါသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်း၏ လျင်မြန်သောဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်မှုနှင့်အတူ၊ ဆီလီကွန် wafer ၏အရွယ်အစားသည် 6” မှ 8″ မှ 12” သို့ချဲ့ထွင်ကာ ဝိုင်ယာကြိုးအကျယ်ကို 0.5um မှ 0.25um၊ 0.18um သို့မဟုတ် 0.13um မှ လျှော့ချထားသည်။ ယခင်က၊ ပစ်မှတ်သန့်စင်မှု၏ 99.995% သည် 0.35umic ၏ လုပ်ငန်းစဉ်လိုအပ်ချက်များကို ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သော်လည်း 0.18um လိုင်းများပြင်ဆင်မှုသည် 99.999% သို့မဟုတ် ပစ်မှတ်သန့်စင်မှု၏ 99.9999% လိုအပ်ပါသည်။
အညစ်အကြေးပါဝင်မှု- ပစ်မှတ်အစိုင်အခဲများနှင့် အောက်ဆီဂျင်နှင့် ချွေးပေါက်အတွင်းရှိ ရေခိုးရေငွေ့များသည် စုဆောင်းထားသောရုပ်ရှင်များ၏ အဓိကညစ်ညမ်းမှုအရင်းအမြစ်များဖြစ်သည်။ မတူညီသောရည်ရွယ်ချက်များအတွက် ပစ်မှတ်များသည် မတူညီသောညစ်ညမ်းမှုအကြောင်းအရာများအတွက် မတူညီသောလိုအပ်ချက်များရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းတွင်အသုံးပြုသည့် သန့်စင်သော အလူမီနီယမ်နှင့် အလူမီနီယမ်အလွိုင်းပစ်မှတ်များသည် အယ်လကာလီသတ္တုပါဝင်မှုနှင့် ရေဒီယိုသတ္တိကြွဒြပ်စင်များပါဝင်မှုအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များရှိသည်။
သိပ်သည်းဆ- ပစ်မှတ်ရှိ ချွေးပေါက်များကို လျှော့ချရန်နှင့် sputtering ဖလင်၏ လုပ်ဆောင်ချက်ကို မြှင့်တင်ရန်အတွက် ပစ်မှတ်သည် အများအားဖြင့် သိပ်သည်းဆမြင့်မားရန် လိုအပ်ပါသည်။ ပစ်မှတ်၏သိပ်သည်းဆသည် sputtering rate ကိုသာမက ဖလင်၏လျှပ်စစ်နှင့်အလင်းဆိုင်ရာလုပ်ဆောင်ချက်များကိုပါ ထိခိုက်စေပါသည်။ ပစ်မှတ်သိပ်သည်းဆ မြင့်မားလေ၊ ဖလင်၏လုပ်ဆောင်ချက် ပိုမိုကောင်းမွန်လေဖြစ်သည်။ ထို့အပြင်၊ ပစ်မှတ်၏သိပ်သည်းဆနှင့် ခွန်အားကို မြှင့်တင်ထားသောကြောင့် ပစ်မှတ်သည် sputtering လုပ်ငန်းစဉ်တွင် အပူဖိအားကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ လက်ခံနိုင်မည်ဖြစ်သည်။ သိပ်သည်းဆသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာ ညွှန်ကိန်းများထဲမှ တစ်ခုလည်းဖြစ်သည်။
စာတိုက်အချိန်- မေ ၂၀-၂၀၂၂