အသက်မွေးဝမ်းကြောင်းအမျိုးမျိုးတွင် ပစ်မှတ်ပစ္စည်းကို ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုခြင်းသည် ပစ်မှတ်ပစ္စည်းဝယ်လိုအား ပိုမိုမြင့်မားစေသည်။ ဖော်ပြပါ ကြှနျုပျတို့လုပျနိုငျမညျ အတိုချုံး မိတ်ဆက်ပေးပါရစေ သင် ပစ်မှတ်၊ ခုန်၏ အဓိက လုပ်ဆောင်ချက်လိုအပ်ချက်များကား အဘယ်နည်းing ကူညီရန်။
သန့်ရှင်းမှု- သန့်ရှင်းမှုသည် ပစ်မှတ်၏ အဓိကလုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာ ညွှန်ကိန်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ပစ်မှတ်၏ သန့်ရှင်းမှုသည် ရုပ်ရှင်၏လုပ်ဆောင်ချက်အပေါ် ကြီးမားသောအကျိုးသက်ရောက်မှုရှိသောကြောင့်ဖြစ်သည်။ သို့သော် လက်တွေ့တွင် ပစ်မှတ်ပစ္စည်း၏ သန့်ရှင်းမှုသည် တူညီသည်မဟုတ်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်လုပ်ငန်း၏ အရှိန်အဟုန်ဖြင့် ကြီးထွားလာသည်နှင့်အမျှ၊ ဆီလီကွန် wafer အရွယ်အစားသည် 6”၊ 8” မှ 12″ မှ ဖွံ့ဖြိုးလာပြီး ဝိုင်ယာကြိုးအကျယ်သည် 0.5um မှ 0.25um၊0.18um နှင့် 0.13um သို့ပင် လျော့နည်းသွားသည်။ ပစ်မှတ်သန့်စင်မှု၏ 99.995% သည် 0.35UMIC ၏ နည်းပညာလိုအပ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီနိုင်သည်။ 0.18um လိုင်း၏ပြင်ဆင်မှုသည် ပစ်မှတ်ပစ္စည်း၏ 99.999% သို့မဟုတ် 99.9999% သန့်စင်မှုပင် လိုအပ်သည်။
သိပ်သည်းဆ- ပစ်မှတ်အစိုင်အခဲရှိ porosity ကိုလျှော့ချရန်နှင့် sputtering ဖလင်၏လုပ်ဆောင်ချက်ကို တိုးတက်စေရန်အတွက်၊ ပစ်မှတ်သည် အများအားဖြင့် မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆရှိရန် လိုအပ်ပါသည်။ ပစ်မှတ်သိပ်သည်းဆသည် sputtering rate ကိုသာမက ရုပ်ရှင်များ၏ လျှပ်စစ်နှင့် အလင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများကိုလည်း သက်ရောက်မှုရှိသည်။ ပစ်မှတ်သိပ်သည်းဆ မြင့်မားလေ၊ ဖလင်၏လုပ်ဆောင်ချက် ပိုကောင်းလေဖြစ်သည်။ ထို့အပြင်၊ ပစ်မှတ်ပစ္စည်း၏ သိပ်သည်းဆနှင့် ခိုင်ခံ့မှုတို့သည် sputtering ကာလအတွင်း အပူဒဏ်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စွာ ခံနိုင်ရည်ရှိစေရန် တိုးမြှင့်ထားသည်။ သိပ်သည်းဆသည် ပစ်မှတ်ပစ္စည်းများ၏ အရေးကြီးသော လုပ်ဆောင်မှုဆိုင်ရာ ညွှန်ကိန်းများထဲမှ တစ်ခုလည်းဖြစ်သည်။
အညစ်အကြေးပါဝင်မှု- ပစ်မှတ်အစိုင်အခဲများနှင့် ချွေးပေါက်အတွင်းရှိ အောက်ဆီဂျင်နှင့် ရေခိုးရေငွေ့များသည် စုဆောင်းထားသောရုပ်ရှင်များ၏ အဓိကညစ်ညမ်းမှုရင်းမြစ်များဖြစ်သည်။ ရည်ရွယ်ချက်အမျိုးမျိုးအတွက် ကွဲပြားခြားနားသောပစ်မှတ်ပစ္စည်းများသည် မတူညီသောညစ်ညမ်းမှုအကြောင်းအရာအတွက် မတူညီသောလိုအပ်ချက်များရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင်အသုံးပြုသည့် သန့်စင်သောအလူမီနီယံနှင့် အလူမီနီယံအလွိုင်းပစ်မှတ်များသည် အယ်လကာလီသတ္တုပါဝင်မှုနှင့် ရေဒီယိုသတ္တိကြွဒြပ်စင်ပါဝင်မှုအတွက် အထူးလိုအပ်ချက်များရှိသည်။
စာတိုက်အချိန်- ဇွန်လ-၀၆-၂၀၂၂