ကျွန်ုပ်တို့အားလုံးသိကြသည့်အတိုင်း၊ သန့်စင်မှုသည် ပစ်မှတ်၏အဓိကစွမ်းဆောင်ရည်ညွှန်းကိန်းများထဲမှတစ်ခုဖြစ်သည်။ အမှန်တကယ်အသုံးပြုရာတွင် ပစ်မှတ်၏ သန့်စင်မှုလိုအပ်ချက်များလည်း ကွဲပြားပါသည်။ ယေဘူယျ စက်မှုလုပ်ငန်းသုံး သန့်စင်သော တိုက်တေနီယမ်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက၊ သန့်စင်မြင့် တိုက်တေနီယမ်သည် စျေးကြီးပြီး အသုံးချမှု နည်းပါးသည်။ အထူးစက်မှုလုပ်ငန်းအချို့၏ အသုံးပြုမှုကို ပြည့်မီရန် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုသည်။ ဒါဆို သန့်စင်မြင့် တိုက်တေနီယမ် ပစ်မှတ်တွေရဲ့ အဓိက အသုံးချမှုက ဘာတွေလဲ။ ကဲ လိုက်နာကြရအောင် အထူးကုRSM.
သန့်စင်မြင့် တိုက်တေနီယမ် ပစ်မှတ်များကို အသုံးပြုရာတွင် အဓိကအားဖြင့် အောက်ပါအချက်များ ပါဝင်သည်-
1. ဇီဝပစ္စည်းများ
တိုက်တေနီယမ်သည် သံလိုက်မဟုတ်သော သတ္တုတစ်မျိုးဖြစ်ပြီး ပြင်းထန်သော သံလိုက်စက်ကွင်းတွင် သံလိုက်မရနိုင်ဘဲ၊ လူ့ခန္ဓာကိုယ်နှင့် ကောင်းစွာလိုက်ဖက်မှုရှိကာ အဆိပ်မရှိသော ဘေးထွက်ဆိုးကျိုးများ ရှိပြီး လူသားထည့်သွင်းထားသော ကိရိယာများကို ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အသုံးပြုနိုင်သည်။ ယေဘူယျအားဖြင့် ဆေးဘက်ဆိုင်ရာ တိုက်တေနီယမ်ပစ္စည်းများသည် မြင့်မားသော သန့်စင်သော တိုက်တေနီယမ်အဆင့်သို့ မရောက်ရှိသော်လည်း တိုက်တေနီယမ်တွင် အညစ်အကြေးများ ဖျက်သိမ်းခြင်းကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားပါက အစားထိုးထည့်သွင်းရန်အတွက် တိုက်တေနီယမ်၏ သန့်စင်မှုသည် တတ်နိုင်သမျှ မြင့်မားသင့်သည်။ သန့်စင်မြင့်မားသော တိုက်တေနီယမ်ဝါယာကြိုးကို ဇီဝဗေဒဆိုင်ရာ ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုနိုင်ကြောင်း စာပေများတွင် ဖော်ပြထားပါသည်။ ထို့အပြင်၊ ထည့်သွင်းထားသော catheter ပါရှိသော တိုက်တေနီယမ်ဆေးထိုးအပ်သည် သန့်ရှင်းမြင့်မြတ်သော တိုက်တေနီယမ်အဆင့်သို့ ရောက်ရှိနေပြီဖြစ်သည်။
2. အလှဆင်ပစ္စည်းများ
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော တိုက်တေနီယမ်သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော လေထုအတွင်း သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး လေထုအတွင်း ရေရှည်အသုံးပြုပြီးနောက် အရောင်မပြောင်းဘဲ တိုက်တေနီယမ်၏မူလအရောင်ကို အာမခံပါသည်။ ထို့ကြောင့် သန့်စင်သော တိုက်တေနီယမ်ကို အဆောက်အဦအလှဆင်ပစ္စည်းများအဖြစ်လည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။ ထို့အပြင်၊ မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်း၊ လက်ကောက်များ၊ နာရီများနှင့် မျက်မှန်ဘောင်များကဲ့သို့သော အဆင့်မြင့်အလှဆင်မှုများနှင့် ဝတ်ဆင်နိုင်သောအချို့ကို တိုက်တေနီယမ်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် ၎င်း၏ corrosion resistance ၊ အရောင်မပြောင်း၊ ရေရှည်ကောင်းမွန်ပြီး တောက်ပမှုနှင့် အာရုံခံနိုင်စွမ်းမရှိသော၊ လူ့အရေပြား။ အလှဆင်ရာတွင် အသုံးပြုသော တိုက်တေနီယမ်၏ သန့်စင်မှုသည် 5N အဆင့်သို့ ရောက်ရှိသွားပါသည်။
3. လှုံ့ဆော်ပစ္စည်း
တိုက်တေနီယမ်သည် အလွန်တက်ကြွသော ဓာတုဂုဏ်သတ္တိရှိသော သတ္တုတစ်မျိုးအနေဖြင့် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ဒြပ်စင်များနှင့် ဒြပ်ပေါင်းများစွာနှင့် ဓာတ်ပြုနိုင်သည်။ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော တိုက်တေနီယမ်သည် တက်ကြွသောဓာတ်ငွေ့များကို စုပ်ယူမှုအားကောင်းသည် (ဥပမာ၊၊၊CO၊၊ ရေငွေ့ 650 အထက်℃) နှင့် Ti film သည် pump wall တွင် အငွေ့ပျံသွားသော မြင့်မားသော စုပ်ယူနိုင်စွမ်းရှိသော မျက်နှာပြင်ကို ဖွဲ့စည်းနိုင်သည်။ ဤပိုင်ဆိုင်မှုသည် အလွန်မြင့်မားသော ဖုန်စုပ်စုပ်စက်စနစ်များတွင် Ti ကို ကျယ်ပြန့်စွာအသုံးပြုစေသည်။ sublimation ပန့်များ၊ sputtering ion pumps စသည်တို့တွင် အသုံးပြုပါက၊ sputtering ion pumps ၏ အဆုံးစွန်သော အလုပ်ဖိအားသည် PA ကဲ့သို့ နိမ့်နိုင်ပါသည်။
4. အီလက်ထရွန်းနစ်သတင်းအချက်အလက်ပစ္စည်းများ
မကြာသေးမီနှစ်များအတွင်း၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနည်းပညာ၊ သတင်းအချက်အလက်နည်းပညာနှင့် အခြားနည်းပညာမြင့်နယ်ပယ်များ အရှိန်အဟုန်ဖြင့် ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာသဖြင့် sputtering ပစ်မှတ်များ၊ ပေါင်းစပ်ဆားကစ်များ၊ DRAM နှင့် flat panel display များတွင် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော တိုက်တေနီယမ်ကို ပိုမိုအသုံးပြုလာကြပြီး တိုက်တေနီယမ်၏ သန့်ရှင်းမှု လိုအပ်ပါသည်။ ပိုများလာသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ VLSI လုပ်ငန်းတွင်၊ တိုက်တေနီယမ်ဆီလီကွန်ဒြပ်ပေါင်း၊ တိုက်တေနီယမ်နိုက်ထရိတ်ဒြပ်ပေါင်း၊ တန်စတင် တိုက်တေနီယမ်ဒြပ်ပေါင်း စသည်တို့ကို ထိန်းချုပ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပျံ့နှံ့မှုအတားအဆီးနှင့် ဝါယာကြိုးပစ္စည်းများအဖြစ် အသုံးပြုကြသည်။ ဤပစ္စည်းများကို sputtering နည်းလမ်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး sputtering method တွင်အသုံးပြုသော တိုက်တေနီယမ်ပစ်မှတ်သည် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုလိုအပ်သည်၊ အထူးသဖြင့် အယ်လကာလီသတ္တုဒြပ်စင်များနှင့် ရေဒီယိုသတ္တိကြွဒြပ်စင်များ၏ ပါဝင်မှု အလွန်နည်းပါးပါသည်။
အထက်ဖော်ပြပါ အပလီကေးရှင်းနယ်ပယ်များအပြင်၊ သန့်ရှင်းမြင့်မြတ်သော တိုက်တေနီယမ်ကို အထူးသတ္တုစပ်များနှင့် လုပ်ငန်းသုံးပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုပါသည်။
တင်ချိန်- ဇူလိုင်-၁၁-၂၀၂၂