Kisi bil-vakwu fl-għażla ta 'materjali fil-mira sputtering kien kwistjoni għan-nies, fil-preżent, bħala l-kisi sputtering, speċjalment l-iżvilupp tal-ħiliet tal-kisi magnetron sputtering, jista' jingħad għal kwalunkwe informazzjoni biex tkun tista 'timmira l-preparazzjoni tal-materjal ta' films irqaq bil-bumbardament tal-jone, minħabba li billi sputtering materjal fil-mira fil-proċess tal-kisi għat-tip ta 'sottostrat, għandu effett importanti fuq il-kwalità tal-sputtering film, Għalhekk, ir-rekwiżiti tal-materjal fil-mira huma aktar stretti. Hawnhekk se nitgħallmu dwar ir-rwol tal-mira sputtering fil-kisi tal-vakwu flimkien ma 'L-editur ta' Beijing Rilassament
一、Prinċipju tal-għażla u klassifikazzjoni tal-materjal fil-mira
Fl-għażla tal-materjal fil-mira, minbarra l-użu tal-film innifsu għandu jintgħażel, għandhom jitqiesu wkoll il-problemi li ġejjin:
Problema 1. Skont ir-rekwiżiti tal-użu u l-prestazzjoni tal-membrana, huwa meħtieġ li l-materjal fil-mira jissodisfa r-rekwiżiti tekniċi ta 'purità, kontenut ta' rivista, uniformità tal-komponenti, preċiżjoni tal-magni u l-bqija.
Problema 2. Il-materjal fil-mira għandu jkollu saħħa mekkanika tajba u stabbiltà kimika wara l-iffurmar tal-film;
Problema 3. Huwa meħtieġ li l-materjal tal-film jiġġenera film kompost faċilment bil-gass ta 'reazzjoni bħala l-film sputtering reattiv;
Problema 4. Huwa meħtieġ li l-mira u l-matriċi tkun b'saħħitha, inkella, il-materjal tal-film b'adeżjoni tajba mal-matriċi għandu jiġi adottat, l-ewwel sputter saff ta 'film tal-qiegħ u mbagħad ipprepara s-saff tal-film meħtieġ;
Mistoqsija 5. Fuq il-premessa li jintlaħqu r-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-film, iżgħar tkun id-differenza bejn il-koeffiċjent ta 'espansjoni termali tal-mira u l-matriċi, aħjar, sabiex titnaqqas l-influwenza tal-istress termali tal-film sputtering;
Preparazzjoni ta 'diversi miri użati komunement
(1) mira cr
Il-kromju bħala materjal tal-film sputtering mhux biss huwa faċli biex jikkombina mal-materjal bażi għandu adeżjoni għolja, u l-kromju u l-ossidu tal-film CrQ3, il-proprjetajiet mekkaniċi tiegħu, ir-reżistenza għall-aċidu u l-istabbiltà termali huma aħjar.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd prinċipalment impenjati fi: mira tat-titanju taż-żirkonju, mira tal-aluminju, mira tan-nikil, mira tal-kromju, mira tat-tungstenu, mira tal-molibdenu, mira tar-ram, mira tas-silikon, mira tan-nijobju, mira tat-tantalu, liga tat-titanju-silikon mira, mira ta 'liga ta' titanju-nijobju, mira ta 'liga ta' titanju-tungstenu, mira ta 'liga ta' titanju-żirkonju, Mira tal-liga tan-nikil-kromju, mira tal-liga tas-silika-aluminju, mira tal-liga tan-nikil-vanadju, mira tal-liga ternarja tal-kromju-aluminju-silikon，Materjal tal-mira tal-liga ternarja Ti al si, użat ħafna fid-dekorazzjoni/wiċċ iebes u kisi funzjonali, ħġieġ arkitettoniku, ċatt wiri/fotoelettrika ottika, ħażna ottika, elettronika, stampar u professjonijiet oħra.
Ħin tal-post: Ġunju-02-2022