L-użu wiesa 'ta' materjal fil-mira f'diversi professjonijiet jagħmel id-domanda għal materjal fil-mira ogħla u ogħla. Dan li ġej Aħna se jintroduċi fil-qosor int x'inhuma r-rekwiżiti funzjonali primarji tal-mira, hoping biex jgħinek.
Purità: Il-purità hija waħda mill-indikaturi funzjonali primarji tal-mira, minħabba li l-purità tal-mira għandha impatt kbir fuq il-funzjoni tal-film. Iżda fil-prattika, il-purità tal-materjal fil-mira mhix l-istess. Pereżempju, bit-tkabbir mgħaġġel tal-professjoni tal-mikroelettronika, id-daqs tal-wejfer tas-silikon żviluppa minn 6 ", 8 "sa 12", u l-wisa 'tal-wajers naqset minn 0.5um għal 0.25um, 0.18um u anke 0.13um. Ladarba 99.995% tal-purità fil-mira jistgħu jissodisfaw ir-rekwiżiti teknoloġiċi ta '0.35UMIC. Il-preparazzjoni tal-linja 0.18um teħtieġ 99.999% jew saħansitra 99.9999% ta 'purità tal-materjal fil-mira.
Densità: Sabiex titnaqqas il-porożità fis-solidu fil-mira u tittejjeb il-funzjoni tal-film sputtering, il-mira hija ġeneralment meħtieġa li jkollha densità għolja. Id-densità fil-mira taffettwa mhux biss ir-rata ta 'sputtering iżda wkoll il-proprjetajiet elettriċi u ottiċi tal-films. Iktar ma tkun għolja d-densità fil-mira, aħjar tkun il-funzjoni tal-film.Barra minn hekk, id-densità u s-saħħa tal-materjal fil-mira żdiedu biex ikun jista 'jiflaħ aħjar l-istress termali waqt sputtering. Id-densità hija wkoll waħda mill-indikaturi funzjonali importanti tas-sustanzi fil-mira.
Kontenut ta 'impurità: l-impuritajiet fis-solidu fil-mira u l-ossiġnu u l-fwar tal-ilma fil-pori huma s-sorsi primarji ta' tniġġis tal-films akkumulati. Materjali fil-mira differenti għal skopijiet differenti għandhom rekwiżiti differenti għal kontenut ta 'impurità differenti. Pereżempju, miri ta 'aluminju pur u liga ta' aluminju użati fl-industrija tas-semikondutturi għandhom rekwiżiti speċjali għal kontenut ta 'metall alkali u kontenut ta' element radjuattiv.
Ħin tal-post: Ġunju-06-2022