Ħafna ħbieb dwar il-manutenzjoni tal-mira hemm xi ftit jew wisq mistoqsijiet, reċentement hemm ukoll ħafna klijenti li jikkonsultaw dwar iż-żamma tal-problemi relatati mal-mira, ħalli editur ta 'RSM għalina naqsmu dwar l-għarfien tal-manutenzjoni tal-mira sputtering .
Kif għandhom jinżammu l-miri sputter?
1、 Manutenzjoni fil-mira
Sabiex jiġi evitat short circuit u arcing ikkawżat minn kavità mhux nadifa fil-proċess ta 'sputtering, huwa meħtieġ li perjodikament jitneħħew l-sputters akkumulati fin-nofs u ż-żewġ naħat tal-binarju sputtering, li jgħin ukoll lill-utenti biex kontinwament sputter f'densità ta' qawwa għolja.
2、 Ħażna fil-mira
Nirrakkomandaw li l-utenti jaħżnu l-mira (kemm jekk metall jew ċeramika) f'ippakkjar bil-vakwu, speċjalment il-mira tat-twaħħil għandha tinħażen fil-vakwu biex tevita li l-ossidazzjoni tas-saff tat-twaħħil taffettwa l-kwalità tat-twaħħil. Fir-rigward tal-ippakkjar ta 'miri tal-metall, nissuġġerixxu li għandhom jiġu ppakkjati f'boroż tal-plastik nodfa għall-inqas.
3、 Tindif fil-mira
L-ewwel pass huwa li tnaddaf b'ċarruta ratba mingħajr lint mxarrba fl-aċetun;
It-tieni pass huwa simili għall-ewwel pass, tindif bl-alkoħol;
Pass 3: naddaf b'ilma dejonizzat. Wara t-tindif b'ilma dejonizzat, il-mira titqiegħed fil-forn u mnixxfa f'100 ℃ għal 30 minuta. Huwa ssuġġerit li tuża "ċarruta ħielsa mill-lint" biex tnaddaf il-miri tal-ossidu u taċ-ċeramika.
Ir-raba 'pass huwa li taħsel il-mira b'argon bi pressjoni għolja u umdità baxxa biex tneħħi kwalunkwe partiċelli impuri li jistgħu jikkawżaw ark fis-sistema ta' sputtering.
4、 Short circuit u kontroll tal-issikkar
Wara li l-mira tkun installata, il-katodu kollu jeħtieġ li jiġi ċċekkjat għal short circuit u issikkar. Huwa rakkomandat li tiġġudika jekk hemmx short circuit fil-katodu billi tuża meter tar-reżistenza u megger. Wara li tikkonferma li m'hemm l-ebda ċirkwit qasir fil-katodu, tista 'titwettaq spezzjoni ta' tnixxija ta 'ilma, u l-ilma jista' jiġi introdott fil-katodu biex jiddetermina jekk hemmx tnixxija ta 'ilma.
5、 Ippakkjar u trasport
Il-miri kollha huma ppakkjati f'boroż tal-plastik issiġillati bil-vakwu b'aġent li ma jgħaddix umdità. Il-pakkett ta 'barra huwa ġeneralment kaxxa tal-injam b'saff ta' kontra l-ħabta madwar biex jipproteġi l-mira u l-backplane minn ħsara waqt it-trasport u l-ħażna.
Ħin tal-post: Lulju-15-2022