Il-miri tal-molibdenu sputtered intużaw ħafna fl-industrija tal-elettronika, ċelloli solari, kisi tal-ħġieġ, u oqsma oħra minħabba l-vantaġġi inerenti tagħhom. Bl-iżvilupp mgħaġġel tat-teknoloġija moderna fil-minjaturizzazzjoni, l-integrazzjoni, id-diġitizzazzjoni u l-intelliġenza, l-użu tal-miri tal-molibdenu se jkompli jiżdied, u r-rekwiżiti ta 'kwalità għalihom se jsiru wkoll dejjem aktar għoljin. Għalhekk irridu nsibu modi biex intejbu r-rata ta 'utilizzazzjoni tal-miri tal-molibdenu. Issa, l-editur ta 'RSM se jintroduċi diversi metodi biex ittejjeb ir-rata ta' utilizzazzjoni tal-miri tal-molibdenu sputtering għal kulħadd
1. Żid kolja elettromanjetika fuq in-naħa ta 'wara
Sabiex titjieb ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-mira tal-molibdenu sputtered, tista' tiġi miżjuda coil elettromanjetiku fuq in-naħa ta 'wara tal-mira tal-molibdenu planari tal-Magnetron sputtering, u l-kamp manjetiku fuq il-wiċċ tal-mira tal-molibdenu jista' jiżdied billi jiżdied il-kurrent ta ' il-coil elettromanjetiku, sabiex ittejjeb ir-rata ta 'utilizzazzjoni tal-mira tal-molibdenu.
2. Agħżel materjal tal-mira li jdur tubulari
Meta mqabbel ma 'miri ċatti, l-għażla ta' struttura ta 'mira tubulari li ddur tenfasizza l-vantaġġi sostantivi tagħha. Ġeneralment, ir-rata ta 'utilizzazzjoni ta' miri ċatti hija biss 30% sa 50%, filwaqt li r-rata ta 'utilizzazzjoni ta' miri tubulari li jduru tista 'tilħaq aktar minn 80%. Barra minn hekk, meta tuża t-tubu vojt li jdur Magnetron sputtering mira, peress li l-mira tista 'ddur madwar l-assemblaġġ tal-kalamita tal-bar fiss il-ħin kollu, ma jkun hemm l-ebda depożizzjoni mill-ġdid fuq il-wiċċ tagħha, għalhekk il-ħajja tal-mira li ddur hija ġeneralment aktar minn 5 darbiet itwal minn dak tal-mira tal-pjan.
3. Ibdel b'tagħmir ġdid ta' sputtering
Iċ-ċavetta għat-titjib tar-rata ta 'utilizzazzjoni tal-materjali fil-mira hija li titlesta s-sostituzzjoni ta' tagħmir ta 'sputtering. Matul il-proċess ta 'sputtering ta' materjal fil-mira ta 'sputtering tal-molibdenu, madwar wieħed minn sitta ta' l-atomi sputtering se jiddepożitaw fuq il-ħajt jew il-parentesi tal-kamra tal-vakwu wara li jintlaqtu minn joni ta 'l-idroġenu, u jżidu l-ispiża tat-tindif tat-tagħmir tal-vakwu u ħin ta' waqfien. Allura s-sostituzzjoni ta 'tagħmir ġdid ta' sputtering tista 'wkoll tgħin biex ittejjeb ir-rata ta' utilizzazzjoni tal-miri tal-molibdenu sputtering.
Ħin tal-post: Mejju-24-2023