Ilkoll nafu li sputtering hija waħda mit-teknoloġiji ewlenin għall-preparazzjoni ta 'materjali tal-film. Juża l-jonji prodotti mis-sors tal-jone biex jaċċellera l-aggregazzjoni fil-vakwu biex jifforma raġġ tal-jone ta 'veloċità għolja, jibbumbardja l-wiċċ solidu, u l-joni jiskambjaw enerġija kinetika mal-atomi fuq il-wiċċ solidu, sabiex l-atomi fuq is-solidu wiċċ ħalli s-solidu u jiddepożita fuq il-wiċċ tas-sottostrat. Is-solidu bbumbardjat huwa l-materja prima għad-depożitu ta 'film permezz ta' sputtering, li tissejjaħ sputtering target.
Diversi tipi ta 'materjali tal-film sputtered intużaw ħafna f'ċirkwiti integrati semikondutturi, midja ta' reġistrazzjoni, wiri planari, kisi tal-wiċċ ta 'għodda u die eċċ.
Il-miri ta 'sputtering jintużaw prinċipalment f'industriji elettroniċi u ta' informazzjoni, bħal ċirkwiti integrati, ħażna ta 'informazzjoni, wirjiet tal-kristalli likwidi, memorji tal-lejżer, tagħmir ta' kontroll elettroniku, eċċ; Jista 'jintuża wkoll fil-qasam tal-kisi tal-ħġieġ; Jista 'jintuża wkoll f'materjali reżistenti għall-ilbies, reżistenza għall-korrużjoni f'temperatura għolja, prodotti dekorattivi high-end u industriji oħra.
Hemm ħafna tipi ta 'miri ta' sputtering, u hemm metodi differenti għall-klassifikazzjoni tal-miri:
Skont il-kompożizzjoni, tista 'tinqasam f'mira tal-metall, mira ta' liga u mira kompost taċ-ċeramika.
Skont il-forma, tista 'tinqasam f'mira twila, mira kwadra u mira tonda.
Jista 'jinqasam f'mira mikroelettronika, mira ta' reġistrazzjoni manjetika, mira ta 'diska ottika, mira ta' metall prezzjuż, mira ta 'reżistenza għall-film, mira tal-film konduttiv, mira ta' modifika tal-wiċċ, mira ta 'maskra, mira ta' saff dekorattiv, mira ta 'elettrodu u miri oħra skont il-qasam tal-applikazzjoni.
Skont applikazzjonijiet differenti, jista 'jinqasam f'miri taċ-ċeramika relatati mas-semikondutturi, reġistrazzjoni ta' miri taċ-ċeramika medji, miri taċ-ċeramika tal-wiri, miri taċ-ċeramika superkondutturi u miri taċ-ċeramika ta 'manjetoresistenza ġgant.
Ħin tal-post: Lulju-29-2022