F'dawn l-aħħar snin, bil-progress tat-teknoloġija taċ-ċirkwit integrat (IC), l-applikazzjonijiet relatati taċ-ċirkwiti integrati ġew żviluppati malajr. Mira ta 'sputtering ta' liga ta 'l-aluminju ta' purità ultra għolja, bħala materjal ta 'appoġġ fil-manifattura ta' interkonnessjonijiet tal-metall ta 'ċirkwit integrat, saret suġġett jaħraq fir-riċerka domestika reċenti. l-editur ta 'RSM se jurina l-karatteristiċi ta' mira ta 'sputtering ta' liga ta 'l-aluminju ta' purità għolja.
Sabiex tittejjeb aktar l-effiċjenza ta ' l-isputtering tal-magnetron sputtering mira u tiġi żgurata l-kwalità ta ' films depożitati, numru kbir ta ' esperimenti juru li hemm ċerti rekwiżiti għall-kompożizzjoni, mikrostruttura u orjentazzjoni tal-qamħ ta ' purità ultra-għoli liga aluminju sputtering mira.
Id-daqs tal-qamħ u l-orjentazzjoni tal-qamħ tal-mira għandhom influwenza kbira fuq il-preparazzjoni u l-proprjetajiet tal-films IC. Ir-riżultati juru li r-rata ta 'depożizzjoni tonqos maż-żieda tad-daqs tal-qamħ; Għall-mira ta 'sputtering bl-istess kompożizzjoni, ir-rata ta' sputtering tal-mira b'daqs żgħir tal-qamħ hija aktar mgħaġġla minn dik tal-mira b'daqs kbir tal-qamħ; Iktar ma jkun uniformi d-daqs tal-qamħ tal-mira, iktar ikun uniformi d-distribuzzjoni tal-ħxuna tal-films depożitati.
Taħt l-istess strument ta 'sputtering u parametri tal-proċess, ir-rata ta' sputtering tal-mira tal-liga Al Cu tiżdied biż-żieda tad-densità atomika, iżda ġeneralment hija stabbli f'firxa. L-effett tad-daqs tal-qamħ fuq ir-rata ta 'sputtering huwa dovut għall-bidla tad-densità atomika bil-bidla tad-daqs tal-qamħ; Ir-rata ta 'depożizzjoni hija prinċipalment affettwata mill-orjentazzjoni tal-qamħ tal-mira tal-liga Al Cu. Fuq il-bażi li tiżgura l-proporzjon ta '(200) pjani tal-kristall, iż-żieda tal-proporzjon ta' pjani tal-kristall (111), (220) u (311) se żżid ir-rata ta 'depożizzjoni.
Id-daqs tal-qamħ u l-orjentazzjoni tal-qamħ ta 'miri ta' liga tal-aluminju ta 'purità ultra-għolja huma prinċipalment aġġustati u kkontrollati minn omoġenizzazzjoni tal-ingotti, xogħol sħun u ttemprar tar-rikristallizzazzjoni. Bl-iżvilupp tad-daqs tal-wejfer għal 20.32cm (8in) u 30.48cm (12in), id-daqs tal-mira qed jiżdied ukoll, li jressaq rekwiżiti ogħla għal miri ta 'sputtering ta' liga tal-aluminju ta 'purità ultra-għolja. Sabiex tiġi żgurata l-kwalità u r-rendiment tal-film, il-parametri tal-ipproċessar fil-mira għandhom ikunu kkontrollati b'mod strett biex il-mikrostruttura fil-mira tkun uniformi u l-orjentazzjoni tal-qamħ għandu jkollha nisġa pjani b'saħħithom (200) u (220).
Ħin tal-post: Ġunju-30-2022