Merħba fil-websajts tagħna!

Kawżi ta 'Sputtering Target Cracking u Kontromiżuri

Xquq fil-miri sputtering normalment iseħħu fil-miri sputtering taċ-ċeramika bħal ossidi, karburi, nitridi, u materjali fraġli bħal kromju, antimonju, bismut. Issa ħalli l-esperti tekniċi ta 'RSM jispjegaw għaliex il-mira sputtering xquq u liema miżuri preventivi jistgħu jittieħdu biex tiġi evitata din is-sitwazzjoni.

https://www.rsmtarget.com/

Miri taċ-ċeramika jew materjali fraġli dejjem fihom stress inerenti. Dawn it-tensjonijiet interni huma ġġenerati fil-proċess tal-manifattura fil-mira. Barra minn hekk, dawn l-istress mhumiex kompletament eliminati mill-proċess ta 'ttemprar, minħabba li huma karatteristiċi inerenti ta' dawn il-materjali. Fil-proċess ta 'sputtering, il-bumbardament ta' joni tal-gass jittrasferixxi l-momentum tagħhom lill-atomi fil-mira, u jipprovdilhom biżżejjed enerġija biex jisseparahom mill-kannizzata. Dan it-trasferiment tal-momentum eżotermiku jagħmel it-temperatura fil-mira togħla, li tista 'tilħaq 1000000 ℃ fil-livell atomiku.

Dawn ix-xokkijiet termali jżidu l-istress intern eżistenti fil-mira għal ħafna drabi. F'dan il-każ, jekk is-sħana ma tinħelax sew, il-mira tista 'tinkisser. Sabiex jiġi evitat li l-mira tinqasam, għandha tiġi enfasizzata d-dissipazzjoni tas-sħana. Mekkaniżmu li jkessaħ l-ilma huwa meħtieġ biex titneħħa l-enerġija tas-sħana mhux mixtieqa mill-mira. Kwistjoni oħra li għandek tikkonsidra hija ż-żieda fil-poter. Wisq qawwa applikata fi żmien qasir tikkawża wkoll xokk termali għall-mira. Barra minn hekk, nissuġġerixxu li torbot dawn il-miri mal-backplane, li mhux biss jista 'jipprovdi appoġġ għall-mira, iżda wkoll jippromwovi skambju aħjar tas-sħana bejn il-mira u l-ilma. Jekk il-mira għandha xquq iżda hija marbuta mal-pjanċa ta 'wara, xorta tista' tintuża.

Rich Special Materials Co., Ltd jista 'jipprovdi miri ta' sputtering b'backplane. Jista 'jiġi personalizzat skond il-ħtiġijiet tal-klijenti ta' materjal, ħxuna u tip ta 'twaħħil.


Ħin tal-post: 21-Settembru 2022