Applikazzjoni ta 'Semikondutturi Chip Sputtering Target

Rich Special Material Co., Ltd jista 'jipproduċi miri ta' sputtering ta 'aluminju ta' purità għolja, miri sputtering tar-ram, miri sputtering tat-tantalu, miri sputtering tat-titanju, eċċ għall-industrija tas-semikondutturi.

Iċ-ċipep tas-semikondutturi għandhom rekwiżiti tekniċi għoljin u prezzijiet għoljin għal miri ta 'sputtering. Ir-rekwiżiti tagħhom għall-purità u t-teknoloġija tal-miri ta 'sputtering huma ogħla minn dawk ta' wirjiet ta 'pannelli ċatti, ċelloli solari u applikazzjonijiet oħra. Iċ-ċipep semikondutturi jistabbilixxu standards estremament stretti dwar il-purità u l-mikrostruttura interna tal-miri ta 'sputtering. Jekk il-kontenut ta 'impurità tal-mira ta' sputtering huwa għoli wisq, il-film iffurmat ma jistax jilħaq il-proprjetajiet elettriċi meħtieġa. Fil-proċess ta 'sputtering, huwa faċli li tifforma partiċelli fuq il-wejfer, li tirriżulta f'short circuit jew ħsara fiċ-ċirkwit, li taffettwa serjament il-prestazzjoni tal-film. B'mod ġenerali, l-ogħla mira ta 'purità sputtering hija meħtieġa għall-manifattura taċ-ċippa, li ġeneralment tkun 99.9995% (5N5) jew ogħla.

Miri ta 'sputtering huma użati għall-fabbrikazzjoni ta' saffi barriera u saffi tal-wajers tal-metall tal-ippakkjar. Fil-proċess tal-manifattura tal-wejfer, il-mira tintuża prinċipalment biex tagħmel is-saff konduttiv, is-saff tal-barriera u l-grilja tal-metall tal-wejfer. Fil-proċess tal-ippakkjar taċ-ċippa, il-mira tal-isputtering tintuża biex tiġġenera saffi tal-metall, saffi tal-wajers u materjali oħra tal-metall taħt il-ħotob. Għalkemm l-ammont ta 'materjali fil-mira użati fil-manifattura tal-wejfer u l-ippakkjar taċ-ċippa huwa żgħir, skont l-istatistika SEMI, l-ispiża tal-materjali fil-mira fil-proċess tal-manifattura u l-ippakkjar tal-wejfers tammonta għal madwar 3%. Madankollu, il-kwalità tal-mira ta 'sputtering taffettwa direttament l-uniformità u l-prestazzjoni tas-saff konduttiv u tas-saff tal-barriera, u b'hekk taffettwa l-veloċità tat-trażmissjoni u l-istabbiltà taċ-ċippa. Għalhekk, il-mira ta 'sputtering hija waħda mill-materja prima ewlenija għall-produzzjoni tas-semikondutturi