Sasaran dibungkus dalam beg plastik vakum berganda. Kami menyarankan pengguna menyimpan sasaran, sama ada logam atau seramik, dalam pembungkusan vakum, terutamanya sasaran ikatan perlu disimpan dalam vakum untuk mengelakkan pengoksidaan lapisan ikatan menjejaskan kualiti ikatan. Bagi pembungkusan sasaran logam, kami menegaskan bahawa keperluan minimum ialah membungkusnya dalam beg plastik bersih. Pengarang Richmat Beijing di bawah untuk berkongsi dengan anda tentang apakah kemahiran penyimpanan dan penyelenggaraan sasaran aloi
Kemahiran penyelenggaraan mengenai sasaran aloi adalah seperti berikut:
Untuk mengelakkan litar pintas dan arka akibat rongga yang tidak bersih dalam proses sputtering, adalah perlu untuk mengeluarkan pusat trek sputtering dan kedua-dua belah pengumpulan sputtering, yang juga membantu pengguna untuk meneruskan ketumpatan kuasa sputtering maksimum.
Langkah 1: Bersihkan dengan kain bebas bulu yang direndam dalam aseton;
Langkah 2: Bersihkan dengan alkohol serupa dengan langkah 1;
Langkah 3: Basuh dengan air ternyahion. Selepas dibersihkan dengan air ternyahion, sasaran diletakkan di dalam ketuhar untuk dikeringkan pada suhu 100 darjah Celsius selama 30 minit. Sasaran oksida dan seramik dibersihkan dengan "kain tanpa flanel".
Langkah 4: selepas mengeluarkan kawasan berdebu, argon dengan tekanan tinggi dan gas lembapan rendah digunakan untuk menyiram sasaran untuk mengeluarkan semua zarah kekotoran yang mungkin membentuk arka dalam sistem sputtering.
Masa siaran: Jun-07-2022