Bahan sasaran niobium digunakan terutamanya dalam salutan optik, salutan bahan kejuruteraan permukaan, dan industri salutan seperti rintangan haba, rintangan kakisan, dan kekonduksian tinggi. Dalam bidang salutan optik, ia digunakan terutamanya dalam produk optik oftalmik, kanta, optik ketepatan, salutan kawasan besar, salutan 3D, dan aspek lain.
Bahan sasaran niobium biasanya dipanggil sasaran kosong. Ia mula-mula dikimpal pada sasaran belakang kuprum, dan kemudian terbantut untuk mendepositkan atom niobium dalam bentuk oksida pada bahan substrat, mencapai salutan sputtering. Dengan pendalaman dan pengembangan berterusan teknologi dan aplikasi sasaran niobium, keperluan untuk keseragaman struktur mikro sasaran niobium telah meningkat, terutamanya ditunjukkan dalam tiga aspek: penghalusan saiz butiran, tiada orientasi tekstur yang jelas, dan ketulenan kimia yang lebih baik.
Pengagihan seragam mikrostruktur dan sifat di seluruh sasaran adalah penting untuk memastikan prestasi sputtering bahan sasaran niobium. Permukaan sasaran niobium yang ditemui dalam pengeluaran perindustrian biasanya mempamerkan corak tetap, yang sangat mempengaruhi prestasi sputtering sasaran. Bagaimanakah kita boleh meningkatkan kadar penggunaan sasaran?
Melalui penyelidikan, didapati kandungan kekotoran (target purity) merupakan faktor penting yang mempengaruhi kesucian. Komposisi kimia bahan mentah tidak sekata, dan kekotoran diperkaya. Selepas pemprosesan rolling kemudian, corak biasa terbentuk pada permukaan bahan sasaran niobium; Menghapuskan pengagihan komponen bahan mentah yang tidak sekata dan pengayaan kekotoran boleh mengelakkan pembentukan corak biasa pada permukaan sasaran niobium. Pengaruh saiz bijian dan komposisi struktur pada bahan sasaran hampir boleh diabaikan.
Masa siaran: Jun-19-2023