Keretakan pada sasaran sputtering biasanya berlaku pada sasaran sputtering seramik seperti oksida, karbida, nitrida, dan bahan rapuh seperti kromium, antimoni, bismut. Sekarang biarkan pakar teknikal RSM menjelaskan mengapa sasaran yang terpercik itu retak dan apakah langkah pencegahan yang boleh diambil untuk mengelakkan...
Baca lagi