Penjelasan terperinci tentang pengetahuan teknikal utama sasaran tembaga

Dengan permintaan pasaran yang semakin meningkat untuk sasaran, terdapat lebih banyak jenis sasaran, seperti sasaran aloi, sasaran sputtering, sasaran seramik, dll. Apakah pengetahuan teknikal mengenai sasaran tembaga? Sekarang mari kita berkongsi pengetahuan teknikal mengenai sasaran tembaga dengan kami,

　　1. Penentuan julat dimensi dan toleransi

Mengikut keperluan sebenar, sasaran tembaga memerlukan dimensi penampilan berketepatan tinggi, dan sasaran dengan spesifikasi dan sisihan tertentu disediakan mengikut keperluan pelanggan.

　　2. Keperluan kesucian

Keperluan ketulenan terutamanya ditentukan mengikut penggunaan pelanggan dan berdasarkan kepuasan dengan keperluan pelanggan.

　　3. Keperluan struktur mikro

① Saiz butiran: saiz butiran sasaran mempengaruhi prestasi sputtering sasaran. Oleh itu, saiz bijirin terutamanya berdasarkan keperluan penggunaan pelanggan, melalui satu siri rawatan haba penempaan untuk memenuhi keperluan pengguna.

② Arah kristal: mengikut ciri-ciri struktur sasaran tembaga, kaedah pembentukan yang berbeza diterima pakai, dan proses rawatan haba dikawal mengikut keperluan pengguna.

　　4. Keperluan kualiti penampilan

Permukaan sasaran mestilah bebas daripada faktor yang menyebabkan penggunaan yang kurang baik, dan kualiti proses sputtering mesti dijamin mengikut keperluan pelanggan.

　　5. Keperluan untuk nisbah ikatan kimpalan

Jika sasaran tembaga dikimpal dengan bahan lain sebelum sputtering, pemeriksaan ultrasonik mesti dijalankan selepas kimpalan untuk memastikan bahawa kawasan tidak ikatan kedua-duanya adalah ≥ 95%, memenuhi keperluan sputtering kuasa tinggi tanpa jatuh. Ujian ultrasonik tidak diperlukan untuk jenis semua-dalam-satu.

　　6. Keperluan kualiti dalaman

Memandangkan keadaan perkhidmatan sasaran, sasaran perlu bebas daripada kecacatan seperti liang dan kemasukan. Ia ditentukan melalui rundingan dengan pelanggan mengikut keperluan sebenar.

Selepas sasaran dibersihkan dengan teliti untuk memastikan permukaan sasaran bebas daripada kotoran dan lampiran zarah, ia secara langsung dibungkus dengan vakum mengikut keperluan pelanggan.