टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्य सामग्रीचे अनुप्रयोग उद्योग काय आहेत

स्पटरिंग टायटॅनियम मिश्र धातु टार्गेट आणि टायटॅनियम धातू टायटॅनियमने बनलेले आहेत, त्यामुळे माहिती अंदाजे समान आहे, परंतु दोनमधील फरक मुख्यतः स्पटरिंग टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्यामध्ये आहे, टायटॅनियम धातूपासून अनेक मार्गांनी बनलेले आहे आणि टायटॅनियम निसर्गात आढळते. टायटॅनियम अयस्क. टायटॅनियम मिश्र धातुचे लक्ष्य अनेक व्यावसायिक श्रेणींमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाऊ शकते, आता बीजिंग richmat च्या लेखकाने आम्हाला तपशीलवार परिचय देण्यासाठी परिस्थितीच्या वापराच्या दृष्टीने अनेक सामान्य टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्याचा सारांश दिला आहे.
च्या                                               
一、Ti लक्ष्य एकात्मिक सर्किट्ससाठी
स्पटरिंग टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्यांसाठी आवश्यकता नॉन-इंटिग्रेटेड सर्किट्स आणि इंटिग्रेटेड सर्किट्समध्ये भिन्न आहेत. सर्वसाधारणपणे, इंटिग्रेटेड सर्किट्सना कोटिंग डेटासाठी उच्च आवश्यकता असते, जसे की उच्च शुद्धता, लहान धान्य आकार आणि अधिक अचूक स्केल अचूकता. एकात्मिक सर्किट्समध्ये टायटॅनियम लक्ष्यांची शुद्धता 99.995% पेक्षा जास्त असते, जी नॉन-इंटिग्रेटेडमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या पेक्षा जास्त असते. सर्किट्स, टायटॅनियम लक्ष्य आवश्यकतांचे विविध उपयोग खूप भिन्न आहेत हे दर्शवितात.
二, सपाट पॅनेल प्रदर्शनासाठी Ti लक्ष्य
फ्लॅट पॅनेल डिस्प्लेमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या टायटॅनियम मिश्र धातुच्या लक्ष्यांमध्ये लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, प्लाझ्मा डिस्प्ले, इलेक्ट्रोल्युमिनेसेन्स डिस्प्ले आणि फील्ड एमिशन डिस्प्ले यांचा समावेश होतो. फ्लॅट डिस्प्लेची पातळ फिल्म स्पटर्ड फॉर्मिंग पद्धत आहे, Al, Cu, Ti आणि Mo हे फ्लॅट पॅनेलसाठी प्राथमिक मेटल स्पटरिंग लक्ष्य आहेत. डिस्प्ले. फ्लॅट पॅनेल डिस्प्लेसाठी टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्यांची शुद्धता सामान्यतः 99.9% पेक्षा जास्त असते.
三, सजावटीच्या साहित्यासाठी Ti लक्ष्य
उच्च शुद्धता टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्य सामग्रीमध्ये उत्कृष्ट हवा गंज प्रतिरोधक आहे, हवेमध्ये दीर्घकालीन वापरामुळे रंग बदलत नाही, टायटॅनियमचा मूळ रंग आणि मानवी संपर्कात ऍलर्जी आणि इतर उत्कृष्ट वैशिष्ट्ये नाहीत याची खात्री करण्यासाठी. म्हणून, उच्च शुद्धता टायटॅनियम देखील सजावटीची सामग्री म्हणून वापरली जाऊ शकते, अलिकडच्या वर्षांत, जसे की बांगड्या, घड्याळे आणि चष्मा आणि टायटॅनियम शुद्धतेसह इतर दागिने 5N पातळीपर्यंत पोहोचले आहेत.
四、Ti लक्ष्य अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम पंपिंग सिस्टमसाठी
रासायनिकदृष्ट्या सक्रिय धातू म्हणून, टायटॅनियम उच्च तापमानात अनेक घटक आणि संयुगे यांच्याशी प्रतिक्रिया देऊ शकतो. उच्च शुद्धता टायटॅनियम मिश्र धातु लक्ष्यात सक्रिय वायूंसाठी मजबूत शोषण क्षमता आहे (जसे की O2, N2, CO, CO2, पाण्याची वाफ 650 डिग्री सेल्सिअसपेक्षा जास्त), आणि पंप भिंतीवर बाष्पीभवन होणारी Ti फिल्म उच्च शोषण कार्यक्षमतेसह पृष्ठभाग तयार करू शकते. . या गुणधर्मामुळे Ti चा वापर अल्ट्रा-हाय व्हॅक्यूम गॅस एक्स्ट्रॅक्शन सिस्टीममध्ये गेटर म्हणून केला जातो. पंप, स्पटरिंग आयन पंप इ. सुधारण्यासाठी वापरल्यास, ते स्पटरिंग आयन पंपचा अंतिम ऑपरेटिंग दाब 10-9PA इतका कमी करू शकतो.